[实用新型]MEMS麦克风接线板有效
| 申请号： | 201220537483.5 | 申请日： | 2012-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN202841518U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 万景明;杨少军;张继栋 | 申请（专利权）人： | 山东共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R7/02 |
| 代理公司： | 潍坊鸢都专利事务所 37215 | 代理人： | 尹金华 |
| 地址： | 261200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种MEMS麦克风接线板，其包括基板和安装在基板上的MEMS芯片，MEMS芯片上设有MEMS振膜，MEMS振膜的上方设有用于限制其过度形变的限位装置；限位装置包括设在MEMS芯片两侧的基板上的焊接衬底和焊接在两焊接衬底之间并横跨过MEMS振膜上方的至少一根焊接金线；焊接金线交叉设置两根或平行间隔设置多根；限位装置可包括横跨在MEMS振膜上方的限位板和设在MEMS芯片两侧的基板上用于安装限位板的限位板支撑台。限位装置还可为扣在MEMS振膜上方的限位罩。本实用新型结构简单，设计精巧，有效避免了MEMS振膜因过度形变而损坏的现象，从而延长了MEMS振膜的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 接线 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风接线板，包括基板（1）和安装在基板（1）上的MEMS芯片（2），MEMS芯片（2）上设有MEMS振膜（3），其特征是所述MEMS振膜（3）的上方设有用于限制其过度形变的限位装置。
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