[实用新型]MEMS麦克风接线板有效
| 申请号： | 201220537483.5 | 申请日： | 2012-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN202841518U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 万景明;杨少军;张继栋 | 申请（专利权）人： | 山东共达电声股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R7/02 |
| 代理公司： | 潍坊鸢都专利事务所 37215 | 代理人： | 尹金华 |
| 地址： | 261200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 接线 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS麦克风接线板，包括基板（1）和安装在基板（1）上的MEMS芯片（2），MEMS芯片（2）上设有MEMS振膜（3），其特征是所述MEMS振膜（3）的上方设有用于限制其过度形变的限位装置。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风接线板，其特征是所述限位装置包括设在MEMS芯片（2）两侧的基板（1）上的焊接衬底（4）和焊接在两焊接衬底（4）之间并横跨过MEMS振膜（3）上方的至少一根焊接金线（5）。
3.如权利要求2所述的MEMS麦克风接线板，其特征是所述焊接金线（5）交叉设置两根。
4.如权利要求2所述的MEMS麦克风接线板，其特征是所述焊接金线（5）平行间隔设置多根。
5.如权利要求1所述的MEMS麦克风接线板，其特征是所述限位装置包括横跨在MEMS振膜（3）上方的限位板（6）和设在MEMS芯片（2）两侧的基板（1）上用于安装限位板（6）的限位板支撑台（7）。
6.如权利要求1所述的MEMS麦克风接线板，其特征是所述限位装置为扣在MEMS振膜（3）上方的限位罩（8）。
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