[实用新型]炉管自动恢复系统有效
| 申请号： | 201220521066.1 | 申请日： | 2012-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN202830155U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 王刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种炉管自动恢复系统，包括固态继电器和电压比较器，所述电压比较器设在机台内，所述电压比较器通过第一机台端口与炉丝连接，所述炉丝同时与固态继电器连接，所述固态继电器通过第二机台端口与电压比较器相连。本实用新型通过电压比较器对加热器是否开路进行了判断，同时通过固态继电器的引入，实现了在炉丝开路情况下对炉丝的重新连通和加热，使得沉积过程能够继续，将突然事故的损失降低到最小，提高了加热器的安全性能。 | ||
| 搜索关键词： | 炉管 自动 恢复 系统 | ||
【主权项】：
一种炉管自动恢复系统，所述炉管包括一加热器，所述加热器为一根绕成若干炉丝圈的炉丝，其特征在于：所述自动恢复系统包括固态继电器和电压比较器，所述电压比较器设在机台内，所述电压比较器通过第一机台端口与炉丝连接，所述炉丝同时与固态继电器连接，所述固态继电器通过第二机台端口与电压比较器相连。
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