[实用新型]炉管自动恢复系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种炉管的自动恢复系统。

背景技术

气相沉积是指利用气相中发生的物理化学过程，在材料表面形成具有特种性能的金属或化合物涂层的过程，包括化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）。其中，化学气相沉积(Chemical vapor deposition，简称CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，进而制得固体材料的工艺技术。它本质上属于原子范畴的气态传质过程。

沉积过程是在炉管中进行的，沉积过程中，炉管内运行温度最高达1200℃，炉管内设有加热器，当加热器出现故障，尤其在运行过程中出现故障，将对产品以致命的打击，产品报废将无法避免。在业界还没有能够解决沉积过程中突然故障的有效办法。

目前，加热器主要为一根绕成若干炉丝圈的炉丝，造成其损坏通常有两种情况：（1）加热器的加热炉丝断裂开路；（2）加热器的加热炉丝短路烧毁造成炉丝开路。无论哪种情况，只要发生了，炉管内的温度将达不到设定值，即达不到沉积的要求，将会导致产品的报废。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够有效解决炉丝开路故障的炉管自动恢复系统。

为解决这一技术问题，本实用新型提供了一种炉管自动恢复系统，所述炉管包括一加热器，所述加热器为一根绕成若干炉丝圈的炉丝，所述炉管自动恢复系统包括固态继电器和电压比较器，所述电压比较器设在机台内，所述电压比较器通过第一机台端口与炉丝连接，所述炉丝同时与固态继电器连接，所述固态继电器通过第二机台端口与电压比较器相连。

优选的，在上述的炉管自动恢复系统中，所述固态继电器包括三个端口，两个端口分别连接炉丝的相邻的两个炉丝圈，另一个端口通过第二机台端口与电压比较器连接。

优选的，在上述的炉管自动恢复系统中，所述电压比较器通过两个第一机台端口分别连接炉丝的相邻的两个炉丝圈，同时所述电压比较器通过第二机台端口与连接相同炉丝圈的固态继电器连接。

优选的，在上述的炉管自动恢复系统中，所述固态继电器通过炉丝上引出的电源节点将所述炉丝连通。

优选的，在上述的炉管自动恢复系统中，机台内包括一警报器，所述警报器通过第二机台端口与所述固态继电器连接。

本实用新型通过电压比较器对加热器是否开路进行了判断，同时通过固态继电器的引入，实现了在炉丝开路情况下对炉丝的重新连通和加热，使得沉积过程能够继续，将突然事故的损失降低到最小，提高了加热器的安全性能。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的炉管自动恢复系统的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例的炉管自动恢复系统的电源接点的示意图；

图3是本实用新型一实施例的炉管自动恢复系统的控制信号示意图；

图中，100—炉丝；101—固态继电器；102—电压比较器；103—机台；104—警报器；105—第一机台端口；106—第二机台端口；107—第一电源接点；108—第二电源接点。

具体实施方式

以下将对本实用新型的炉管自动恢复系统作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。