[实用新型]炉管自动恢复系统有效
申请号: | 201220521066.1 | 申请日: | 2012-10-11 |
公开(公告)号: | CN202830155U | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 王刚 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C16/44 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 炉管 自动 恢复 系统 | ||
1.一种炉管自动恢复系统,所述炉管包括一加热器,所述加热器为一根绕成若干炉丝圈的炉丝,其特征在于:所述自动恢复系统包括固态继电器和电压比较器,所述电压比较器设在机台内,所述电压比较器通过第一机台端口与炉丝连接,所述炉丝同时与固态继电器连接,所述固态继电器通过第二机台端口与电压比较器相连。
2.如权利要求1所述的炉管自动恢复系统,其特征在于:所述固态继电器包括三个端口,两个端口分别连接炉丝的相邻的两个炉丝圈,另一个端口通过第二机台端口与电压比较器连接。
3.如权利要求2所述的炉管自动恢复系统,其特征在于:所述电压比较器通过两个第一机台端口分别连接炉丝的相邻的两个炉丝圈,同时所述电压比较器通过第二机台端口与连接相同炉丝圈的固态继电器连接。
4.如权利要求1所述的炉管自动恢复系统,其特征在于:所述固态继电器通过炉丝上引出的电源节点将所述炉丝连通。
5.如权利要求1所述的炉管自动恢复系统,其特征在于:机台内包括一警报器,所述警报器通过第二机台端口与所述固态继电器连接。
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