[实用新型]一种UV曝光机冷却气体处理装置有效
申请号: | 201220498038.2 | 申请日: | 2012-09-26 |
公开(公告)号: | CN202823017U | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 郭庆秋;杨明雄;周婵华;徐斌;徐晶 | 申请(专利权)人: | 长兴(广州)光电材料有限公司 |
主分类号: | B01D46/00 | 分类号: | B01D46/00;B01D53/26;G01N21/78 |
代理公司: | 广州广信知识产权代理有限公司 44261 | 代理人: | 李玉峰 |
地址: | 510530 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种UV曝光机冷却气体处理装置,包括过滤器、干燥器;所述干燥器的出口端连接有水分指示器。本实用新型可有效监控并及时判断干燥器对气体水分的处理效果,因而能够有效控制输入UV曝光机中的冷却压缩气体的品质,从而有效保障UV曝光机的使用效果及安全。 | ||
搜索关键词: | 一种 uv 曝光 冷却 气体 处理 装置 | ||
【主权项】:
一种UV曝光机冷却气体处理装置,包括过滤器(2)、干燥器(3);其特征在于:所述干燥器(3)的出口端连接有水分指示器(4)。
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