[实用新型]一种UV曝光机冷却气体处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体处理技术领域，尤其涉及一种用于UV曝光机的冷却气体处理装置。

背景技术

UV曝光机是指通过开启灯管发出UVA波长的紫外线，将胶片或其它透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备，目前已广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米材料等科技领域。

UV曝光机在使用过程中，由于其UV灯管持续发光发热，因而需要对UV灯管进行冷却，以防灯管过热导致灯管损坏或发生爆炸现象。目前现有技术对UV曝光机灯管所采用的冷却方式通常为气冷，即通过输入冷却压缩气体对灯管进行冷却。而曝光机中的UV灯管，对于输入的冷却压缩气体有着极高的要求，即不能含有水分和油污，否则对灯管可能造成较大的损害。为此，目前现有技术对用于冷却UV曝光机灯管的压缩气体，一般采用过滤器对气体进行过滤以除去油污等杂质，并采用以氧化铝颗粒作为干燥剂的干燥器进行干燥以除去水分，然后再进入UV曝光机内部。然而，干燥剂使用一段时间后氧化铝颗粒会失去效力，而上述方式无法及时有效地监控到干燥器中的干燥剂氧化铝颗粒是否已经失效，因而不能有效控制输入UV曝光机中的冷却压缩气体的品质，从而无法有效保障UV曝光机的使用效果及安全。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种可对冷却气体水分去除情况进行有效监控的UV曝光机冷却气体处理装置，以有效控制输入UV曝光机冷却气体的品质，从而保证UV曝光机的使用效果及安全。

本实用新型的目的通过以下技术方案予以实现：

本实用新型提供的一种UV曝光机冷却气体处理装置，包括过滤器、干燥器；所述干燥器的出口端连接有水分指示器。本实用新型冷却气体经过干燥器干燥处理后进入水分指示器，可以通过观察水分指示器的变化情况，监测判断干燥器对气体水分的处理效果，以便能够及时更换干燥剂，从而有效控制输入UV曝光机中冷却气体的品质。

本实用新型可采取如下进一步措施：所述过滤器连接在干燥器的进口端；所述水分指示器的出口端与UV曝光机连接，即冷却气体先进行过滤、然后再经过干燥并经水分指示器检测，之后进入UV曝光机。或者，所述过滤器设置在水分指示器的出口端、而连接位于水分指示器和UV曝光机之间，即冷却气体先进行干燥并经水分指示器检测、然后再进行过滤，之后进入UV曝光机。

上述方案中，本实用新型所述水分指示器为硅胶变色指示器，其外壳为透明材料以便于直接观察，内装有硅胶颗粒。由于硅胶颗粒吸水后即变色，因此可以直观地监测到气体是否携带水分，从而判断干燥剂是否已经失效。

本实用新型具有以下有益效果：结构简单且原料普遍，易于实现。可有效监控并及时判断出干燥器中的干燥剂是否已经失效，因而能够有效控制输入UV曝光机中的冷却压缩气体的品质，从而有效保障UV曝光机的使用效果及安全。

附图说明

下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步的详细描述：

图1是本实用新型实施例之一的结构示意图；

图2是本实用新型实施例之二的结构示意图。

图中：压力阀1，过滤器2，干燥器3，水分指示器4，水分指示器进口端4a，水分指示器出口端4b，UV曝光机5，氧化铝颗粒6，硅胶颗粒7。

具体实施方式

实施例一：

图1所示为本实用新型一种UV曝光机冷却气体处理装置的实施例之一，包括依气体进入方向依次连接的压力阀1、过滤器2、干燥器3、水分指示器4。如图1所示，干燥器3的出口端与水分指示器4的进口端4a连接，水分指示器4的出口端4b与UV曝光机5连接。

如图1所示，干燥器3以氧化铝颗粒6作为干燥剂，用于吸收冷却压缩气体携带的水分。水分指示器4为硅胶变色指示器，其外壳为透明材料，内装有吸水会发生变色的硅胶颗粒7。