[实用新型]一种UV曝光机冷却气体处理装置有效
| 申请号： | 201220498038.2 | 申请日： | 2012-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN202823017U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 郭庆秋;杨明雄;周婵华;徐斌;徐晶 | 申请（专利权）人： | 长兴（广州）光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;B01D53/26;G01N21/78 |
| 代理公司： | 广州广信知识产权代理有限公司 44261 | 代理人： | 李玉峰 |
| 地址： | 510530 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 uv 曝光 冷却 气体 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种UV曝光机冷却气体处理装置，包括过滤器(2)、干燥器(3)；其特征在于：所述干燥器(3)的出口端连接有水分指示器(4)。
2.根据权利要求1所述的UV曝光机冷却气体处理装置，其特征在于：所述过滤器(2)连接在干燥器(3)的进口端；所述水分指示器(4)的出口端(4b)与UV曝光机(5)连接。
3.根据权利要求1所述的UV曝光机冷却气体处理装置，其特征在于：所述过滤器(2)设置在水分指示器(4)的出口端(4b)、而连接位于水分指示器(4)和UV曝光机(5)之间。
4.根据权利要求1或2或3所述的UV曝光机冷却气体处理装置，其特征在于：所述水分指示器(4)为硅胶变色指示器，其外壳为透明材料，内装有硅胶颗粒(7)。
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