[实用新型]一种用于单晶炉主轴的密封装置有效
申请号: | 201220466649.9 | 申请日: | 2012-09-13 |
公开(公告)号: | CN202884024U | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
发明(设计)人: | 周鹏;张继宏;徐振斌;袁静 | 申请(专利权)人: | 北京京运通科技股份有限公司 |
主分类号: | F16J15/18 | 分类号: | F16J15/18;F16J15/32;F16J15/54;F16F15/02;C30B35/00 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 史霞 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及密封装置,特别涉及一种用于单晶炉主轴的密封装置,其特征在于,包括:内套,其套设于主轴的外侧,与所述主轴之间为密封连接,且不影响主轴相对内套进行轴向移动,所述内套与主轴使用一套旋转驱动机构同步驱动旋转,在驱动机构旋转驱动下,主轴和内套同步旋转;外套,其套设于所述内套的外侧,固定于所述单晶炉主体,内套以可相对外套旋转的方式与外套连接,且内套与外套之间为密封连接,安装有轴承,内套旋转时,外套不旋转,所述外套与所述单晶炉主体之间通过一弹性密封构件实现密封连接。本实用新型用驱动机构驱动主轴和内套旋转,外套与单晶炉的主体密封连接,内套与主轴同步转动,降低了主轴的震动,提高了主轴运动的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶炉 主轴 密封 装置 | ||
【主权项】:
一种用于单晶炉主轴的密封装置,其特征在于,包括:内套,其套设于主轴的外侧,与所述主轴之间为密封连接,且不影响所述主轴相对所述内套进行轴向移动,所述内套与所述主轴之间使用一套旋转驱动机构同步驱动旋转,驱动机构旋转时,带动所述主轴和内套同步旋转;外套,其套设于所述内套的外侧,固定于所述单晶炉主体,所述内套以可相对所述外套旋转的方式与所述外套连接,且所述内套与所述外套之间为密封连接,且安装有轴承,内套旋转时,外套不旋转,所述外套与所述单晶炉主体之间通过一弹性密封构件实现密封连接。
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