[实用新型]一种用于单晶炉主轴的密封装置有效
申请号: | 201220466649.9 | 申请日: | 2012-09-13 |
公开(公告)号: | CN202884024U | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
发明(设计)人: | 周鹏;张继宏;徐振斌;袁静 | 申请(专利权)人: | 北京京运通科技股份有限公司 |
主分类号: | F16J15/18 | 分类号: | F16J15/18;F16J15/32;F16J15/54;F16F15/02;C30B35/00 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 史霞 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶炉 主轴 密封 装置 | ||
1.一种用于单晶炉主轴的密封装置,其特征在于,包括:
内套,其套设于主轴的外侧,与所述主轴之间为密封连接,且不影响所述主轴相对所述内套进行轴向移动,所述内套与所述主轴之间使用一套旋转驱动机构同步驱动旋转,驱动机构旋转时,带动所述主轴和内套同步旋转;
外套,其套设于所述内套的外侧,固定于所述单晶炉主体,所述内套以可相对所述外套旋转的方式与所述外套连接,且所述内套与所述外套之间为密封连接,且安装有轴承,内套旋转时,外套不旋转,所述外套与所述单晶炉主体之间通过一弹性密封构件实现密封连接。
2.如权利要求1所述的用于单晶炉主轴的密封装置,其特征在于,所述内套以可相对所述外套旋转的方式与所述外套连接,是通过以下方式实现的,所述内套和所述外套之间设置有一对角接触轴承和一个深沟球轴承。
3.如权利要求1所述的用于单晶炉主轴的密封装置,其特征在于,所述内套与所述主轴之间通过四个唇形密封件实现密封连接。
4.如权利要求1所述的用于单晶炉主轴的密封装置,其特征在于,所述内套与所述外套之间通过一对骨架密封件实现密封连接。
5.如权利要求1所述的用于单晶炉主轴的密封装置,其特征在于,所述外套与所述单晶炉主体之间通过一O型密封件实现密封连接。
6.如权利要求1所述的用于单晶炉主轴的密封装置,其特征在于,所述内套的内侧还具有两个导向套,分别位于所述内套的两端,均套设于主轴上。
7.如权利要求3所述的的用于单晶炉主轴的密封装置,其特征在于,所述内套与所述主轴之间通过四个唇形密封件实现密封连接,是通过以下方式实现的,所述内套上设置有四个第一环形沟槽,所述每一个第一环形沟槽与所述主轴均形成一向所述唇形密封件施加预紧力的容置空间,所述四个唇形密封件分别位于所述四个容置空间内。
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