[实用新型]一种用于单晶炉主轴的密封装置有效

专利信息
申请号: 201220466649.9 申请日: 2012-09-13
公开(公告)号: CN202884024U 公开(公告)日: 2013-04-17
发明(设计)人: 周鹏;张继宏;徐振斌;袁静 申请(专利权)人: 北京京运通科技股份有限公司
主分类号: F16J15/18 分类号: F16J15/18;F16J15/32;F16J15/54;F16F15/02;C30B35/00
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 代理人: 史霞
地址: 100176 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 单晶炉 主轴 密封 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及密封装置领域,特别涉及一种用于单晶炉主轴的密封装置。

背景技术

单晶炉主轴的密封装置结构通常采用内外两个套,内套上端外圆和外套上端外圆均采用径向密封,这种方式由于径向已经被密封圈限制没有调整密封装置与主轴之间的同轴度和垂直度余量,故整机装配难度大、精度低,影响主轴运动的稳定性。内套内部中间位置装有星形密封圈,这种密封圈适用于静密封和端面密封,当主轴做往复直线运动时,星形密封圈对主轴产生较大的摩擦阻力,会使主轴产生爬行现象而降低运动稳定性,同时也会严重影响密封圈的密封效果和使用寿命。在内套内部上端装有导向套与主轴接触,由于旋转密封装置与主轴之间的同轴度和垂直度不好,当主轴旋转或直线运动时会产生干涉,影响主轴的圆跳动和直线度;另外主轴自身会有固定振动、其他传动机构也会产生振动从而传递给主轴,导向套对主轴的导向、支撑、增加阻尼、减振的效果并不好,影响了主轴运动稳定性。

实用新型内容

本实用新型的目的是增加阻尼,降低主轴震动,提高主轴运动稳定性,减低装配难度,提高装配精度。为此,本实用新型提出了一种用于单晶炉主轴的密封装置。

本实用新型提供的技术方案为:

一种用于单晶炉主轴的密封装置,包括:

内套,其套设于主轴的外侧,与所述主轴之间为密封连接,且不影响所述主轴相对所述内套进行轴向移动,所述内套与所述主轴之间使用一套旋转驱动机构同步驱动旋转,驱动机构旋转时,带动所述主轴和内套同步旋转;

外套,其套设于所述内套的外侧,固定于所述单晶炉主体,所述内套以可相对所述外套旋转的方式与所述外套连接,且所述内套与所述外套之间为密封连接,且安装有轴承,内套旋转时,外套不旋转,所述外套与所述单晶炉主体之间通过一弹性密封构件实现密封连接。

优选的是,所述的用于单晶炉主轴的密封装置中,所述内套以可相对所述外套旋转的方式与所述外套连接,是通过以下方式实现的,所述内套和所述外套之间设置有一对角接触轴承和一个深沟球轴承。

优选的是,所述的用于单晶炉主轴的密封装置中,所述内套与所述主轴之间通过四个唇形密封件实现密封连接。

优选的是,所述的用于单晶炉主轴的密封装置中,所述内套与所述外套之间通过一对骨架密封件实现密封连接。

优选的是,所述的用于单晶炉主轴的密封装置,所述外套与所述单晶炉主体之间通过一O型密封件实现密封连接。

优选的是,所述的用于单晶炉主轴的密封装置,所述内套的内侧还具有两个导向套,分别位于所述内套的两端,均套设于主轴上。

优选的是,所述的用于单晶炉主轴的密封装置,所述内套与所述主轴之间通过四个唇形密封件实现密封连接,是通过以下方式实现的,所述内套上设置有四个第一环形沟槽,所述每一个第一环形沟槽与所述主轴均形成一向所述唇形密封件施加预紧力的容置空间,所述四个唇形密封件分别位于所述四个容置空间内。

本实用新型的用于单晶炉主轴的密封装置中,外套并不直接通过螺栓固定于单晶炉的主体上,在外套与单晶炉的主体之间还设置有一弹性密封构件,在密封装置向单晶炉上的装配过程中,就可以通过调整外套与单晶炉的主体之间的相对位置,实现对主轴与单晶炉的主体的同轴度以及垂直度的调整,本实用新型降低了单晶炉的装配难度,提高了装配的精度。

本实用新型中内套与主轴之间始终处于同步转动的状态,也就是说二者处于相对静止的状态,在内套与主轴之间仅需要设置适用于直线运动密封的密封件就可以满足密封要求。本实用新型采用唇形密封件,该唇形密封件的使用改善了密封效果,降低了摩擦阻力,提高了主轴运动的稳定性,从而单晶生长的稳定性也得到增强,有利于生产效率和成品率的提高;并且也有助于延长密封件的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型所述的用于单晶炉主轴的密封装置的结构示意图。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要的附图作简单的介绍。

本实用新型提供了一种用于单晶炉主轴的密封装置,包括:内套,其套设于主轴的外侧,与所述主轴之间为密封连接,且不影响所述主轴相对所述内套进行轴向移动,所述内套与所述主轴之间使用一套旋转驱动机构同步驱动旋转,驱动机构旋转时,带动所述主轴和内套同步旋转;

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