[实用新型]光刻物镜镜片的辅助固定装置和固定系统有效
| 申请号： | 201220459443.3 | 申请日： | 2012-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN202870368U | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 雷军;刘宝会;夏洪发;武珩;储兆祥 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种光刻物镜镜片的辅助固定装置和固定系统，所述光刻物镜镜片的辅助固定装置设于镜座上，用于辅助支撑光刻物镜镜片，包括柔性机构、镜片固定机构、镜座连接机构，所述柔性机构两端分别与所述镜座连接机构和镜片固定机构连接。本实用新型通过在镜座上设置辅助固定装置增加了镜片的支撑点，减少了镜片面型变化，同时，本实用新型利用预紧装置和柔性机构的消除了透镜在工作过程中的热应力和机械安装应力，进而实现透镜的柔性装配，即无应力装配。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 物镜 镜片 辅助 固定 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种光刻物镜镜片的辅助固定装置，设于镜座上，用于辅助支撑光刻物镜镜片，其特征在于：包括柔性机构、镜片固定机构和镜座连接机构，所述柔性机构两端分别与所述镜座连接机构和镜片固定机构连接。
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