[实用新型]光刻物镜镜片的辅助固定装置和固定系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种固定装置，尤其涉及一种光刻物镜镜片的辅助固定装置。 

背景技术

在高端光刻物镜中，镜片面型对成像质量起到至关重要的作用，因此对于镜片面型改善问题，成为高端物镜的究课题。 

镜片面型的变化与支撑点存在直接的关系。支撑点越多，镜片面型的变化就越小。在高端大视场物镜中，镜片面型变化控制都在150nm以下，这类镜片都存在大口径镜片，其相应的重量也很大，这类镜片面型基于传统夹持方式下是极易变形的（传统加持方式：镜座加工已精度台阶面，镜片支撑在精度面上，以压圈或粘胶形式固定），此类支撑精度在微米级别上镜片仅存在2点或3点支撑，成像质量是无法满足要求的，而目前加工精度也仅在微米级别，因此传统加持方式显然成为高端物镜制造的瓶颈。 

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种有助于减少镜片面型变化的装置，同时消除工作过程中产生的应力。 

为了解决这一技术问题，本实用新型提供了一种光刻物镜镜片的辅助固定装置，设于镜座上，用于辅助支撑光刻物镜镜片，包括柔性机构、镜片固定机构和镜座连接机构，所述柔性机构两端分别与所述镜座连接机构和镜片固定机构连接。 

所述柔性机构包括水平柔性机构、垂直柔性机构与连接部，所述水平柔性 机构和所述垂直柔性机构分别设在所述连接部的两侧，且分别与镜片固定机构和所述镜座连接机构连接。 

所述连接部为截面为矩形的长方体，所述水平柔性机构和所述垂直柔性机构分别与连接部两个相对侧面连接。 

所述水平柔性机构与所述垂直柔性机构均为长方形金属片，所述水平柔性机构沿水平方向设置，所述垂直柔性机构垂直于所述水平柔性机构，且沿镜片圆周的切线方向设置。 

所述辅助固定装置还包括预紧机构，所述预紧机构的一端通过螺钉固定连接在连接部的端面，另一端通过一调节螺钉顶住所述镜片固定机构，所述镜片固定机构中与所述调节螺钉的连接面与所述连接部的端面平行。 

所述镜座连接机构上设有第一连接孔，所述镜座连接机构通过所述第一连接孔和螺钉与镜座连接。 

所述第一连接孔的数量为四个，四个所述第一连接孔以2*2的阵列均匀分布。 

所述镜片固定机构包括底座和镜片连接机构，所述底座通过设在底座上的第二连接孔和螺钉与所述镜片连接机构连接，所述镜片连接机构为圆柱体结构，圆柱体的一端与所述底座连接，另一端与所述镜片连接，圆柱体的轴心设有点胶孔，所述镜片连接机构通过胶水和所述点胶孔与镜片连接，所述点胶孔穿过所述底座和镜片连接机构。 

所述第二连接孔的数量为3个，环绕着所述点胶孔均匀分布。 

所述底座上设有一个沉孔，所述沉孔位于所述底座上与所述镜片连接机构相背的侧面，所述沉孔的形状为圆形，所述第二连接孔设在所述沉孔内。 

所述胶水为紫外固化胶水。 

本实用新型还提供了一种光刻物镜镜片固定系统，包括镜座、若干固定装置，还包括本实用新型提供的光刻物镜镜片的辅助固定装置，若干所述固定装 置沿着所述镜座的圆周均匀设置，所述镜座的圆周上相邻的所述固定装置之间均匀设置至少一个所述辅助固定装置。 

所述镜座上沿镜座切向设有若干用于容置所述固定装置或所述辅助固定装置的槽孔。 

所述槽孔内设有压板，所述压板为“匚”字型结构，围绕着所述辅助固定装置的镜座连接机构设置，所述压板的两端通过螺钉与所述槽孔连接，所述压板的主体压住所述垂直柔性机构。 

所述固定装置的数量为三个，所述辅助固定装置的数量为六个。 

本实用新型通过在镜座上设置辅助固定装置增加了镜片的支撑点，减少了镜片面型变化，同时，本实用新型利用预紧装置和柔性机构消除了透镜在工作过程中的热应力和机械安装应力，进而实现透镜的柔性装配，即无应力装配。 

附图说明

图1是本实用新型一实施例提供的光刻物镜镜片固定系统的结构示意图； 

图2是本实用新型一实施例提供的光刻物镜镜片固定系统的另一结构示意图； 

图3是本实用新型一实施例提供的光刻物镜镜片的辅助固定装置的结构示意图； 

图4是本实用新型一实施例提供的光刻物镜镜片的辅助固定装置的另一结构示意图； 

图中，100—固定装置；200—辅助固定装置；300—镜座；400—镜片；500—槽孔；600—压板；