[实用新型]光刻物镜镜片的辅助固定装置和固定系统

权利要求书

1.一种光刻物镜镜片的辅助固定装置，设于镜座上，用于辅助支撑光刻物镜镜片，其特征在于：包括柔性机构、镜片固定机构和镜座连接机构，所述柔性机构两端分别与所述镜座连接机构和镜片固定机构连接。 

2.如权利要求1所述的光刻物镜镜片的辅助固定装置，其特征在于：所述柔性机构包括水平柔性机构、垂直柔性机构与连接部，所述水平柔性机构和所述垂直柔性机构分别设在所述连接部的两侧，且分别与镜片固定机构和所述镜座连接机构连接。 

3.如权利要求2所述的光刻物镜镜片的辅助固定装置，其特征在于：所述连接部为截面为矩形的长方体，所述水平柔性机构和所述垂直柔性机构分别与连接部两个相对侧面连接。 

4.如权利要求3所述的光刻物镜镜片的辅助固定装置，其特征在于：所述水平柔性机构与所述垂直柔性机构均为长方形金属片，所述水平柔性机构沿水平方向设置，所述垂直柔性机构垂直于所述水平柔性机构，且沿镜片圆周的切线方向设置。 

5.如权利要求3所述的光刻物镜镜片的辅助固定装置，其特征在于：还包括预紧机构，所述预紧机构的一端通过螺钉固定连接在连接部的端面，另一端通过一调节螺钉顶住所述镜片固定机构，所述镜片固定机构中与所述调节螺钉的连接面与所述连接部的端面平行。 

6.如权利要求1所述的光刻物镜镜片的辅助固定装置，其特征在于：所述镜座连接机构上设有第一连接孔，所述镜座连接机构通过所述第一连接孔和螺钉与镜座连接。 

7.如权利要求6所述的光刻物镜镜片的辅助固定装置，其特征在于：所述第一连接孔的数量为四个，四个所述第一连接孔以2*2的阵列均匀分布。 

8.如权利要求1所述的光刻物镜镜片的辅助固定装置，其特征在于：所述镜 片固定机构包括底座和镜片连接机构，所述底座通过设在底座上的第二连接孔和螺钉与所述镜片连接机构连接，所述镜片连接机构为圆柱体结构，圆柱体的一端与所述底座连接，另一端与所述镜片连接，圆柱体的轴心设有点胶孔，所述镜片连接机构通过胶水和所述点胶孔与镜片连接，所述点胶孔（202）穿过所述底座（203）和镜片连接机构（201）。 

9.如权利要求8所述的光刻物镜镜片的辅助固定装置，其特征在于：所述第二连接孔的数量为3个，环绕着所述点胶孔均匀分布。 

10.如权利要求8所述的光刻物镜镜片的辅助固定装置，其特征在于：所述底座上设有一个沉孔，所述沉孔位于所述底座上与所述镜片连接机构相背的侧面，所述沉孔的形状为圆形，所述第二连接孔设在所述沉孔内。 

11.如权利要求8所述的光刻物镜镜片的辅助固定装置，其特征在于：所述胶水为紫外固化胶水。 

12.一种光刻物镜镜片的固定系统，包括镜座、若干固定装置，其特征在于：还包括如权利要求1至11任意之一所述的光刻物镜镜片的辅助固定装置，若干所述固定装置沿着所述镜座的圆周均匀设置，所述镜座的圆周上相邻的所述固定装置之间均匀设置至少一个所述辅助固定装置。 

13.如权利要求12所述的光刻物镜镜片的固定系统，其特征在于：所述镜座上沿镜座切向设有若干用于容置所述固定装置或所述辅助固定装置的槽孔。 

14.如权利要求13所述的光刻物镜镜片的固定系统，其特征在于：所述槽孔内设有压板，所述压板为“匚”字型结构，围绕着所述辅助固定装置的镜座连接机构设置，所述压板的两端通过螺钉与所述槽孔连接，所述压板的主体压住所述垂直柔性机构。 

15.如权利要求12所述的光刻物镜镜片的固定系统，其特征在于：所述固定装置的数量为三个，所述辅助固定装置的数量为六个。