[实用新型]多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器有效
| 申请号： | 201220455120.7 | 申请日： | 2012-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN202830229U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 张永坦;孙志刚;刘茂华;韩子强;石坚;赵会前;印亚峰;姚嵩 | 申请（专利权）人： | 安阳市凤凰光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;B01D46/00;F27D19/00 |
| 代理公司： | 安阳市智浩专利代理事务所 41116 | 代理人： | 王好勤 |
| 地址： | 456400 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器，涉及多晶铸锭炉生产装置，质量流量控制器前端增加过滤器；过滤器通过卡箍及密封圈连接到质量流量控制器。过滤器的一端口径与质量流量控制器口径相同，另一端口径与氩气进气管道相同。所述过滤器是指精密过滤器中的一种。所述过滤器能滤去氩气的微小杂质颗粒。所述过滤器所承受的压力为0.25MPa以上。本实用新型的有益效果是：质量流量控制器前端增加过滤器，可以进一步净化氩气里边的杂质，避免MFC出现故障，减少设备故障率，节约维修费用，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 质量 流量 控制器 过滤器 | ||
【主权项】：
多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器，其特征在于：质量流量控制器前端增加过滤器；过滤器通过卡箍及密封圈连接到质量流量控制器。
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