[实用新型]多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅铸锭技术领域，进一步是多晶铸锭炉生产装置，尤其是多晶铸锭炉氩气进气管路中质量流量控制器的保护装置。 

背景技术

在多晶铸锭技术领域中，多晶铸锭炉是其赖以生存的主要设备，即用多晶铸锭炉将多晶原料铸造出多晶硅锭，其在自动运行期间铸锭炉通过进气模式和排气模式来控制氩气的进出气，以保证工艺要求的压力值。 

铸锭炉进气模式的控制器为质量流量控制器（MFC），根据需要进气管路又有两路组成，第一路由质量流量控制器（MFC）和一个气动阀（V2）组成，自动运行期间主要使用该路，自动运行时气动阀（V2）打开，在进气模式时通过调节流量控制器（MFC）的开度来控制炉腔压力，在排气模式时，质量流量控制器（MFC）设定一固定值，由排气管路的调节阀来控制压力；第二路是有一个单独的气动阀（V6）组成，需要迅速降低或升高压力时，打开该阀即可； 

在现有技术条件下，氩气的质量直接影响质量流量控制器（MFC），严重时会造成质量流量控制器（MFC）出现故障，导致运行期间压力无法控制，虽然已在进气管道进入炉体处增加手动阀，可以在质量流量控制器（MFC）出现故障时及时更换，避免出现停炉的重大生产事故，但由于质量流量调节器（MFC）精密度高、价格昂贵，甚至仅维修一项都会带来生产成本的增加，若损坏无法维修造成质量流量调节器（MFC）报废，更会增大运行成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有设备的技术缺陷，提供一种多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器，可有效保障质量流量控制器（MFC）的使用寿命。 

本实用新型的目的是通过以下方案实现的： 

多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器，其特征在于：质量流量控制器前端增加过滤器；过滤器通过卡箍及密封圈连接到质量流量控制器，

本实用新型还可通过以下方案进一步实现：

所述过滤器的一端口径与质量流量控制器口径相同，另一端口径与氩气进气管道相同。

所述过滤器是指精密过滤器中的一种。 

所述过滤器过滤线度小于氩气的微小杂质颗粒。 

所述过滤器所承受的压力为0.25MPa以上。 

本实用新型的有益效果是：质量流量控制器（MFC）前端增加过滤器，可以净化氩气里边的杂质，避免MFC出现故障，减少设备故障率，节约维修费用，降低生产成本。 

附图说明

图1为本实用新型多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器示意图。 

　　图中：1为氩气入口单向阀，2为过滤器，3为质量流量控制器（MFC），4为气动阀（V6），5为气动阀（V2），6为炉体氦气入口手动阀。 

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，并使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明。 

实施例： 

如图1所示，氩气可以经过氩气入口单向阀1、气动阀（V6）4、炉体氦气入口手动阀6 后进入炉体，另一路经过氩气入口单向阀1、质量流量控制器（MFC）3、气动阀（V2）5、炉体氦气入口手动阀6后进入炉体；在氩气入口单向阀1之后加设置过滤器2，过滤器2可选择的厂家为SMC，型号SFC100-03的产品，在氩气进入氩气入口单向阀1的出口，测量其管路的内径为14毫米，外径20毫米，且进口端设有30毫米的喇叭口与管道相接，可以将其分开，用一卡箍，卡箍要求范围为25-35毫米，喇叭口与过滤器2连接处加密封圈，密封圈上加上适量的真空脂，过滤器2另一端用同样的方法接上，安装完毕，测量炉腔保压正常，可运行使用。

与现有技术相比，本实用新型的特点是：其一、防止质量流量控制器（MFC）在使用寿命期内出现故障，造成运行期间维修存在的安全隐患；其二：减小维修费用，节约生产成本。 

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。