[实用新型]多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器有效
| 申请号: | 201220455120.7 | 申请日: | 2012-09-09 |
| 公开(公告)号: | CN202830229U | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
| 发明(设计)人: | 张永坦;孙志刚;刘茂华;韩子强;石坚;赵会前;印亚峰;姚嵩 | 申请(专利权)人: | 安阳市凤凰光伏科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06;B01D46/00;F27D19/00 |
| 代理公司: | 安阳市智浩专利代理事务所 41116 | 代理人: | 王好勤 |
| 地址: | 456400 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 多晶 铸锭 质量 流量 控制器 过滤器 | ||
1.多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器,其特征在于:质量流量控制器前端增加过滤器;过滤器通过卡箍及密封圈连接到质量流量控制器。
2.根据权利要求1所述的多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器,其特征在于:过滤器的一端口径与质量流量控制器口径相同,另一端口径与氩气进气管道相同。
3.根据权利要求1或2所述的多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器,其特征在于:所述过滤器是指精密过滤器中的一种。
4.根据权利要求1或2所述的多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器,其特征在于:所述过滤器过滤线度小于氩气的微小杂质颗粒。
5.根据权利要求4所述的多晶铸锭炉质量流量控制器过滤器,其特征在于:所述过滤器所承受的压力为0.25MPa以上。
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