[实用新型]一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器有效
| 申请号： | 201220403091.X | 申请日： | 2012-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN202734967U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 高超群;焦斌斌;刘瑞文;尚海平;陈大鹏;叶甜春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00;G01J5/02;G01J5/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器，包括透明衬底（1）以及以非嵌套的方式平铺在所述透明衬底（1）上的多个单层可动微梁单元（2）；所述透明衬底（1）对与所述非制冷红外成像焦平面阵列探测器相配套的读出光路的光线透明。本实用新型实施例提供的非制冷红外成像焦平面阵列探测器，对目标物体进行检测时，由于衬底透明，避免了硅衬底对于来自目标物体的红外光的遮挡和反射引起的能量损失，可有效提高检测灵敏度；同时，因为衬底透明，也无需对衬底进行镂空，避免了制作全镂空结构所需的长时间体硅腐蚀工艺，简化制作流程，提高产品成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制冷 红外 成像 平面 阵列 探测器 | ||
【主权项】：
一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器，其特征在于，包括透明衬底（1）以及以非嵌套的方式平铺在所述透明衬底（1）上的多个单层可动微梁单元（2）；所述透明衬底（1）对与所述非制冷红外成像焦平面阵列探测器相配套的读出光路的光线透明。
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