[实用新型]一种阵列基板线路不良维修装置

摘要

本实用新型涉及半导体线路维修设备领域，公开一种阵列基板线路不良维修装置，包括反应腔室，和向反应腔室内导入六羰基钨的原料供应装置；反应腔室的排气端具有废气排放管；还包括：至少一个六羰基钨的回收罐，每一个回收罐的入口通过回收管路与反应腔室的排气端连通；每一个回收罐设有降温装置，且与反应腔室的排气端之间设有防止固态反应副产物通过的气帘装置。气帘装置可W(CO)5等固态废弃物进入回收罐，粉末状六羰基钨进入具有降温装置的回收罐之后由粉末状转化为固态，残留在回收罐中，而CO等气态通过回收罐的出口排出。因此，本实用新型提供的维修装置能够对反应腔室中未反应的六羰基钨回收一部分，降低了六羰基钨的浪费。

主权项

一种阵列基板线路不良维修装置，包括用于放置待维修的阵列基板的反应腔室，和向所述反应腔室内导入六羰基钨原料的原料供应装置；所述原料供应装置的输出端与所述反应腔室的进气端连通，所述反应腔室的排气端具有废气排放管；其特征在于，还包括：至少一个回收未反应的六羰基钨的回收罐，每一个所述回收罐的入口通过回收管路与所述反应腔室的排气端连通；每一个所述回收罐设有降温装置，且与所述反应腔室的排气端之间设有防止固态反应副产物通过的气帘装置。