[实用新型]研磨液供应臂定位辅助工具有效
| 申请号： | 201220340916.8 | 申请日： | 2012-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN202702036U | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 王琳;江思明;丁涛 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种研磨液供应臂定位辅助工具，用于调整研磨液供应臂的位置，所述研磨液供应臂的一端设有喷嘴，所述研磨液供应臂定位辅助工具包括参考垫，所述参考垫同心铺设于研磨平台上，所述参考垫与所述研磨平台的形状和大小相应，所述参考垫的上表面设有用于指示研磨液供应臂一端的喷嘴与参考垫的中心之间的位置关系的若干同心圆凹槽，若干同心圆凹槽以所述参考垫的中心为圆心。使用时，操作人员可以通过参照所述参考垫的上表面设有的用于指示研磨液供应臂一端的喷嘴与参考垫的中心之间的位置关系的若干同心圆凹槽的位置，进行对研磨液供应臂，从而可以快速到达正确的位置，因而实现了对研磨液供应臂的准确、快速定位。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 供应 定位 辅助工具 | ||
【主权项】：
一种研磨液供应臂定位辅助工具，用于调整研磨液供应臂的位置，所述研磨液供应臂的一端设有喷嘴，其特征在于，所述研磨液供应臂定位辅助工具包括参考垫，所述参考垫同心铺设于研磨平台上，所述参考垫与所述研磨平台的形状和大小相应，所述参考垫的上表面设有用于指示研磨液供应臂一端的喷嘴与参考垫的中心之间的位置关系的若干同心圆凹槽，所述若干同心圆凹槽以所述参考垫的中心为圆心。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220340916.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：履带式智能驾驶玉米收获机
- 下一篇：一种花生落果捡拾机
