[实用新型]研磨液供应臂定位辅助工具有效
| 申请号： | 201220340916.8 | 申请日： | 2012-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN202702036U | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 王琳;江思明;丁涛 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 供应 定位 辅助工具 | ||
1.一种研磨液供应臂定位辅助工具，用于调整研磨液供应臂的位置，所述研磨液供应臂的一端设有喷嘴，其特征在于，所述研磨液供应臂定位辅助工具包括参考垫，所述参考垫同心铺设于研磨平台上，所述参考垫与所述研磨平台的形状和大小相应，所述参考垫的上表面设有用于指示研磨液供应臂一端的喷嘴与参考垫的中心之间的位置关系的若干同心圆凹槽，所述若干同心圆凹槽以所述参考垫的中心为圆心。
2.根据权利要求1所述的研磨液供应臂定位辅助工具，其特征在于，所述若干同心圆凹槽包括密集型同心圆凹槽组和稀疏型同心圆凹槽组，所述密集型同心圆凹槽组位于所述稀疏型同心圆凹槽组的内部。
3.根据权利要求1所述的研磨液供应臂定位辅助工具，其特征在于，所述密集型同心圆凹槽组包括3-8个小同心圆凹槽，相邻的小同心圆凹槽之间的距离相等。
4.根据权利要求3所述的研磨液供应臂定位辅助工具，其特征在于，所述稀疏型同心圆凹槽组包括2-3个大同心圆凹槽，相邻的大同心圆凹槽的距离与相邻的大、小同心圆凹槽之间的距离相等。
5.根据权利要求4所述的研磨液供应臂定位辅助工具，其特征在于，所述密集型同心圆凹槽组包括4个小同心圆凹槽，所述稀疏型同心圆凹槽组包括2个大同心圆凹槽。
6.根据权利要求5所述的研磨液供应臂定位辅助工具，其特征在于，所述密集型同心圆凹槽组中位于最内侧的小同心圆凹槽的半径是90毫米，相邻的小同心圆凹槽之间的距离是7毫米，相邻的大同心圆凹槽的距离以及相邻的大、小同心圆凹槽之间的距离均是14毫米。
7.根据权利要求4所述的研磨液供应臂定位辅助工具，其特征在于，还包括若干半径线，所述半径线均匀分布于所述参考垫的下半圆内。
8.根据权利要求7所述的研磨液供应臂定位辅助工具，其特征在于，相邻的半径线之间的夹角是30度。
9.根据权利要求1所述的研磨液供应臂定位辅助工具，其特征在于，所述参考垫的材质是聚亚安酯。
10.根据权利要求1~9中任意一项所述的研磨液供应臂定位辅助工具，其特征在于，所述若干同心圆凹槽中每个同心圆凹槽边上标有表示各自距离参考垫的中心的距离的标记。
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