[实用新型]一种清洁装置有效
| 申请号： | 201220337086.3 | 申请日： | 2012-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN202779055U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 王凤国;李平福;陈磊;李嘉鹏;胡博 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B15/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 张颖玲;周义刚 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种清洁装置，应用于包括基台和轨道的半导体场景，该清洁装置包括向轨道吹气的喷枪，该喷枪的设置位置为：在与至少一条轨道同侧的基台上，面向轨道的至少一端设置有喷枪；所述装置上还可以设置从轨道吸气的收集器，该收集器的设置位置为：在与至少一条轨道同侧的基台上，面向轨道的至少一端设置有收集器。本实用新型都能够有效地进行轨道清洁，因此能够避免因外物落在轨道上而影响基台运动的情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种清洁装置，应用于包括基台和轨道的半导体上，其特征在于，该清洁装置包括向轨道吹气的喷枪，所述喷枪设置于与至少一条轨道同侧的基台上，面向轨道的至少一端设置有喷枪。
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