[实用新型]一种晶体生长炉有效
| 申请号： | 201220299670.4 | 申请日： | 2012-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN202658265U | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 毛念新;严仲君;黄翔鄂;王新征 | 申请（专利权）人： | 上海嘉森真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 金碎平 |
| 地址： | 201812 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶体生长炉，包括密封固定在腔体内的坩埚和主加热器，所述主加热器设在坩埚的外面，所述坩埚和主加热器外设有隔热屏，其中，所述主加热器通过钨环和钨棒电极的一端相连，所述钨棒电极的另一端与腔体上的水冷电极相连。本实用新型提供的晶体生长炉，通过炉体侧壁上的电极引出结构形成一套完整的回路，水冷夹层位于腔体内外筒中，真空腔体内没有冷却水循环，没有冷却水泄漏的风险，从而提高加热效率，避免了传统结构焊接隐患带来的损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体生长 | ||
【主权项】：
一种晶体生长炉，包括密封固定在腔体（4）内的坩埚（7）和主加热器（6），所述主加热器（6）设在坩埚（7）的外面，所述坩埚（7）和主加热器（6）外设有隔热屏，其特征在于，所述主加热器（6）通过钨环（2）和钨棒电极（1）的一端相连，所述钨棒电极（1）的另一端与腔体（4）上的水冷电极（9）相连。
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