[实用新型]一种晶体生长炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种加热炉，尤其涉及一种晶体生长炉。

背景技术

传统的鼠笼式加热器电极一般是采用铜环与钨杆通过紧固件连接的，铜环内有水冷夹层，铜环上面连接有带水冷夹层的铜棒，铜棒一般从炉盖上方伸出，与单晶炉电源连接，从而将直流电压导入到加热器上。这样一种结构就导致了在加热过程中，冷却水会带走大量的热量，也就是说加热器大部分的热功率都被冷却水消耗了。另外，该结构由于引入冷却水进入真空腔体，存在泄漏的风险，一旦电极引出的焊缝处漏水那么就会造成真空破坏、电极短路、熔融状态的晶体遇水喷溅、坩埚损坏等重大事故。因此有必要对现有的晶体生长炉进行改进，提高加热效率，避免泄露隐患。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种晶体生长炉，能够提高加热效率，并且避免泄露隐患。

本实用新型为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种晶体生长炉，包括密封固定在腔体内的坩埚和主加热器，所述主加热器设在坩埚的外面，所述坩埚和主加热器外设有隔热屏，其中，所述主加热器通过钨环和钨棒电极的一端相连，所述钨棒电极的另一端与腔体上的水冷电极相连。

上述的晶体生长炉，其中，所述坩埚顶部设有盖屏，底部通过支撑柱上，所述坩埚的底部还设有辅助加热器，所述主加热器为鼠笼式钨杆加热器，所述辅助加热器位于主加热器的外面，所述辅助加热器通过钨棒电极与腔体上的水冷电极相连。

上述的晶体生长炉，其中，所述钨棒电极的一端用钼螺栓紧固或焊接在钨环上；所述钨环为两个半圆环，每个半圆环上连接有多个均匀分布的钨棒电极。

上述的晶体生长炉，其中，每个半圆环上连接的钨棒电极的数目为三个。

上述的晶体生长炉，其中，所述钨棒电极截面为圆形或矩形。

本实用新型对比现有技术有如下的有益效果：本实用新型提供的晶体生长炉，利用钨环代替传统结构的铜环，通过炉体侧壁上的电极引出结构形成一套完整的回路，水冷夹层位于腔体内外筒中，真空腔体内没有冷却水循环，没有冷却水泄漏的风险，从而提高加热效率，避免了传统结构焊接隐患带来的损失。

附图说明

图1为本实用新型晶体生长炉结构示意图。

图中：

1钨棒电极    2钨环      3上隔热屏

4腔体        5盖屏      6主加热器

7坩埚        8侧隔热屏  9水冷电极

10辅助加热器 11下隔热屏 12支撑柱

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的描述。

图1为本实用新型晶体生长炉结构示意图。

请参见图1，本实用新型提供的晶体生长炉包括密封固定在腔体4内的坩埚7和主加热器6，主加热器6设在坩埚7的外面，坩埚7和主加热器6外设有隔热屏，其中，主加热器6通过钨环2和钨棒电极1的一端相连，钨棒电极1的另一端与腔体4上的水冷电极9相连。钨棒电极1截面优选为圆形或矩形，钨棒电极1的一端用钼螺栓紧固或焊接在钨环2上；钨环2为两个半圆环，每个半圆环上连接有多个均匀分布的钨棒电极1；每个半圆环上连接的钨棒电极1的数目优选为三个。

本实用新型提供的晶体生长炉，坩埚7顶部设有盖屏5，底部通过支撑柱12上。为了在坩埚顶部和底部形成温度梯度，坩埚7的底部可进一步设置辅助加热器10，主加热器6为鼠笼式钨杆加热器，所述辅助加热器10位于主加热器6的外面，辅助加热器10通过钨棒电极1与腔体4上的水冷电极9相连。

综上所述，本实用新型利用钨环2代替传统结构的铜环，通过炉体侧壁上的电极引出结构形成一套完整的回路，水冷夹层位于腔体4中，真空腔体内没有冷却水循环，没有冷却水泄漏的风险，从而提高加热效率，避免了传统结构焊接隐患带来的损失。

虽然本实用新型已以较佳实施例揭示如上，然其并非用以限定本实用新型，任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的修改和完善，因此本实用新型的保护范围当以权利要求书所界定的为准。