[实用新型]一种深冷抽气真空泵有效
| 申请号： | 201220228039.5 | 申请日： | 2012-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN202560654U | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 沈振权;翁耀;李继鸣;祝绪堂 | 申请（专利权）人： | 东莞光阵显示器制品有限公司 |
| 主分类号： | F04D29/58 | 分类号： | F04D29/58 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 吴英彬 |
| 地址： | 523000 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种深冷抽气真空泵，其特征在于：包括二级循环制冷机(1)，第一冷传导组件和第二冷传导组件，真空泵壳(6)、法兰(11)、抽气口(12)以及制冷机外壳(13)；其中所述的第一冷传导组件设置于所述的真空泵壳体(6)内部，所述的第二冷传导组件设置在所述的第一冷传导组件的内部。本实用新型采用闭路循环氦气制冷机替代液氦作为冷源，通过冷传导组件和内部结构元件，活性碳等低温冷凝，低温吸附和低温捕集等物理作用，从而形成高洁净无油真空，可获得和保持高真空或超高真空结构，且操作方便，抽气速率快，效果明显，提高生产效率，节约成本，应用广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 深冷抽气 真空泵 | ||
【主权项】：
一种深冷抽气真空泵，其特征在于：包括二级循环制冷机(1)，第一冷传导组件和第二冷传导组件，真空泵壳(6)、法兰(11)、抽气口(12)以及制冷机外壳(13)；其中所述的第一冷传导组件设置于所述的真空泵壳(6)的内部，所述的第二冷传导组件设置在所述的第一冷传导组件的内部。
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