[实用新型]一种深冷抽气真空泵

权利要求书

1.一种深冷抽气真空泵，其特征在于：包括二级循环制冷机(1)，第一冷传导组件和第二冷传导组件，真空泵壳(6)、法兰(11)、抽气口(12)以及制冷机外壳(13)；其中所述的第一冷传导组件设置于所述的真空泵壳(6)的内部，所述的第二冷传导组件设置在所述的第一冷传导组件的内部。

2.根据权利要求1所述的深冷抽气真空泵，其特征在于，所述的二级循环制冷机(1)包括：一级汽缸(2)、一级冷头(3)、二级汽缸(4)、二级冷头(5)，其中所述的一级汽缸(2)连接所述的一级冷头(3)，所述的二级汽缸(4)连接所述的二级冷头(5)；所述的二级循环制冷机(1)安装在所述的制冷机外壳(13)上，其二级汽缸(4)和二级冷头(5)都伸入所述的真空泵壳(6)中。

3.根据权利要求1所述的深冷抽气真空泵，其特征在于，所述的真空泵壳(6)内设有与其同轴的冷屏蔽板(7)，二者都具有相似的圆筒形状，且所述的冷屏蔽板(7)外壁与所述的真空泵壳(6)内壁之间形成均匀的间隙。

4.根据权利要求1所述的深冷抽气真空泵，其特征在于，所述的制冷机外壳(13)上设有粗抽真空口(14)，其与所述的真空泵壳(6)连为一整体。

5.根据权利要求1所述的深冷抽气真空泵，其特征在于，所述的第一冷传导组件，包括一级冷头(3)、冷屏蔽板(7)和抽气口障板(10)；其中冷屏蔽板(7)的一端安装在一级冷头(3)上，另一端与抽气口障板(10)连接。

6.根据权利要求5所述的深冷抽气真空泵，其特征在于，所述的抽气口障板(10)设置在所述的抽气口(12)处，且所述的抽气口(12)连接真空泵壳(6)。

7.根据权利要求1所述的深冷抽气真空泵，其特征在于，所述的第二冷传导组件，包括二级冷头(5)、抽气板(8)以及铟垫片(9)；其中抽气板(8)通过铟垫片(9)与二级冷头(5)连接，所述的二级冷头(5)设置在冷屏蔽板 (7)内，且与冷屏蔽板(7)同轴。

8.根据权利要求7所述的深冷抽气真空泵，其特征在于，所述的抽气板(8)为多片形伞状结构，且每片都通过所述的铟垫片(9)相互连接。

9.根据权利要求7所述的深冷抽气真空泵，其特征在于，所述的抽气板(8)分为内、外壁，且外壁上设有镀银层，内壁上涂覆活性碳层。

10.根据权利要求1所述的深冷抽气真空泵，其特征在于，所述的屏蔽板(7)和所述的抽气口障板(10)均设有内、外壁，且其外壁上均设有镀银层，其内壁均设有镀黑涂层。