[实用新型]一种深冷抽气真空泵

说明书

技术领域

本实用新型属于高真空技术领域，具体涉及一种深冷抽气真空泵。 

背景技术

真空泵广泛用于塑料机械、农药化工、染料化工、砖瓦机械、低温设备、造纸机械、医药化工、食品机械、真空设备等领域，常用真空泵有机械式真空泵和制冷式真空两大类.机械式真空泵多为活塞式真空泵、旋片式真空泵水、环式真空泵、罗茨真空泵等几种，这类产品普遍存在极限真空度较低，无法实现洁净无五油高真空的应用，而且抽气速率较低，仅限于粗抽真空的应用.制冷真空泵目前应用较多的是注入式液氦低温泵，主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氦腔体等部分组成。为了减少液氦消耗，液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。当泵被预抽真空后灌入液氦，气体凝结在4.2K的工作冷板上，从而获得较高真空。这种注入式液氦低温泵的缺点是需要消耗液氦，且操作复杂，维修困难，特别是抽气速率较低，抽气效率不高。 

所以开发一种抽气效率高，操作方便，抽气速率快，效果明显提升的真空泵是时代之需要，本实用新型公布的一种深冷抽气真空泵是用闭路循环氦气制冷机替代液氦作为冷源，通过本实用新型的冷屏蔽板，冷抽气板，活性碳等低温冷凝，低温吸附和低温捕集结构，从而形成高洁净无油真空，除不需要消耗氦气，且操作方便，抽气速率可达106升/秒以上，远优于注入式液氦低温泵。 

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种深冷抽气真空泵，其通过采用闭路循环氦气制冷机替代液氦作为冷源，利用低温冷凝，低温吸附和低温捕集结构来实现制取高洁净的超高真空。 

本实用新型为实现上述目的采用的技术方案是： 

一种深冷抽气真空泵，包括二级循环制冷机，第一冷传导组件和第二冷传导组件，真空泵壳、法兰、抽气口以及制冷机外壳；其中所述的第一冷传导组件设置于所述的真空泵壳的内部，所述的第二冷传导组件设置在所述的第一冷传导组件的内部。 

所述的二级循环制冷机包括：一级汽缸、一级冷头、二级汽缸、二级冷头，其中所述的一级汽缸连接所述的一级冷头，所述的二级汽缸连接所述的二级冷头；所述的二级循环制冷机安装在所述的制冷机外壳上，其二级汽缸和二级冷头都伸入所述的真空泵壳中。 

所述的真空泵壳内设有与其同轴的冷屏蔽板，二者都具有相似的圆筒形状，且所述的冷屏蔽板外壁与所述的真空泵壳内壁之间形成均匀的间隙。 

所述的制冷机外壳上设有粗抽真空口，其与所述的真空泵壳连为一整体。 

所述的第一冷传导组件，包括一级冷头、冷屏蔽板和抽气口障板；其中冷屏蔽板的一端安装在一级冷头上，另一端与抽气口障板连接。 

所述的抽气口障板设置在所述的抽气口处，且所述的抽气口连接真空泵壳。 

所述的第二冷传导组件，包括二级冷头、抽气板以及铟垫片；其中抽气板通过铟垫片与二级冷头连接，所述的二级冷头设置在冷屏蔽板内，且与所述的冷屏蔽板同轴。 

所述的抽气板为多片形伞状结构，且每片都通过所述的铟垫片9相互连接。 

所述的抽气板分为内、外壁，且外壁上设有镀银层，内壁上涂覆活性碳层。 

所述的屏蔽板和所述的抽气口障板均设有内、外壁，且其外壁上均设有镀银层，其内壁均设有镀黑涂层。 

本实用新型的有益效果是：本实用新型采用二级循环制冷机，闭路循环氦气制冷机替代液氦作为冷源，通过冷传导组件和内部结构元件，活性碳等低温冷凝，低温吸附和低温捕集等物理作用，从而形成高洁净无油真空，可获得和保持高真空或超高真空结构，且操作方便，抽气速率快，效果明显，提 高生产效率，节约成本，应用广泛。 

下面结合附图与具体实施方式，对本实用新型进一步说明。 

附图说明：

图1是本实用新型的工作原理示意图； 

图2是本实用新型整体剖面结构示意图。 

具体实施方式：

请参见图1及图2，本实用新型提供的一种深冷抽气真空泵，包括二级循环制冷机1，第一冷传导组件和第二冷传导组件，真空泵壳6、法兰11、抽气口12以及制冷机外壳13；其中所述的第一冷传导组件设置于所述的真空泵壳6体内部，所述的第二冷传导组件设置在所述的第一冷传导组件其内部。 

所述的二级循环制冷机1包括：一级汽缸2、一级冷头3、二级汽缸4、二级冷头5，其中所述的一级汽缸2连接所述的一级冷头3，所述的二级汽缸4连接所述的二级冷头5；所述的二级循环制冷机1安装在所述的制冷机外壳13上，其二级汽缸4和二级冷头5都伸入所述的真空泵壳6中。