[实用新型]压电式物镜驱动进给装置

摘要

压电式物镜驱动进给装置，它涉及一种物镜驱动装置。该装置解决目前物镜驱动装置一般采用电机驱动或者手调，精度达不到要求、响应时间慢、体积过大且噪声大的问题。平行四边形机构是由壳体线切割而成的具有四个柔性铰接点的平行四边形机构，平行四边形机构的四个铰接点分别定义为第一铰接点、第二铰接点、第三铰接点和第四铰接点，压电陶瓷设在壳体内，压电陶瓷的一端与钨钢片粘接，压电陶瓷的另一端与后盖粘接，后盖与壳体连接，第二铰接点与第三铰接点之间的边通过预紧顶丝上的球点与钨钢片接触，物镜侧适配器和显微镜侧适配器并列设置在壳体上，平行四边形机构带动壳体及物镜侧适配器运动。本实用新型用于物镜驱动。

主权项

一种压电式物镜驱动进给装置，其特征在于所述装置包括壳体(1)、平行四边形机构(2)、压电陶瓷(3)、后盖(4)、预紧顶丝(5)、钨钢片(6)、物镜侧适配器(7)和显微镜侧适配器(8)，平行四边形机构(2)是由壳体线切割而成的具有四个柔性铰接点的平行四边形机构，平行四边形机构(2)的四个铰接点分别定义为第一铰接点(2‑1)、第二铰接点(2‑2)、第三铰接点(2‑3)和第四铰接点(2‑4)，压电陶瓷(3)设在壳体(1)内，压电陶瓷(3)的一端与钨钢片(6)粘接，压电陶瓷(3)的另一端与后盖(4)粘接，后盖(4)与壳体(1)连接，第二铰接点(2‑2)与第三铰接点(2‑3)之间的边通过预紧顶丝(5)上的球点与钨钢片(6)接触，物镜侧适配器(7)和显微镜侧适配器(8)并列设置在壳体(1)上，平行四边形机构(2)带动壳体(1)及物镜侧适配器(7)运动。