[实用新型]压电式物镜驱动进给装置

权利要求书

1.一种压电式物镜驱动进给装置，其特征在于所述装置包括壳体(1)、平行四边形机构(2)、压电陶瓷(3)、后盖(4)、预紧顶丝(5)、钨钢片(6)、物镜侧适配器(7)和显微镜侧适配器(8)，平行四边形机构(2)是由壳体线切割而成的具有四个柔性铰接点的平行四边形机构，平行四边形机构(2)的四个铰接点分别定义为第一铰接点(2-1)、第二铰接点(2-2)、第三铰接点(2-3)和第四铰接点(2-4)，压电陶瓷(3)设在壳体(1)内，压电陶瓷(3)的一端与钨钢片(6)粘接，压电陶瓷(3)的另一端与后盖(4)粘接，后盖(4)与壳体(1)连接，第二铰接点(2-2)与第三铰接点(2-3)之间的边通过预紧顶丝(5)上的球点与钨钢片(6)接触，物镜侧适配器(7)和显微镜侧适配器(8)并列设置在壳体(1)上，平行四边形机构(2)带动壳体(1)及物镜侧适配器(7)运动。

2.根据权利要求1所述压电式物镜驱动进给装置，其特征在于所述装置还包括多个锁紧螺丝(9)，物镜侧适配器(7)和显微镜侧适配器(8)均通过锁紧螺丝(9)固定。