[实用新型]压电式物镜驱动进给装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种物镜驱动装置。

背景技术

传统的光学显微镜的呈现清晰度完全取决于光学镜头的放大倍数，而当前光学镜头的最大放大倍数只能达到1600倍(人眼分辨的清晰度为1mm左右，以1600倍放大为例，最小观察精度为0.625微米)。现有物镜驱动装置一般采用电机驱动或者手调，精度达不到要求、响应时间慢、体积过大且噪声大。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种压电式物镜驱动进给装置，以解决目前物镜驱动装置一般采用电机驱动或者手调，精度达不到要求、响应时间慢、体积过大且噪声大的问题。

本实用新型为解决上述技术问题采取的技术方案是：所述装置包括壳体、平行四边形机构、压电陶瓷、后盖、预紧顶丝、钨钢片、物镜侧适配器和显微镜侧适配器，平行四边形机构是由壳体线切割而成的具有四个柔性铰接点的平行四边形机构，平行四边形机构的四个铰接点分别定义为第一铰接点、第二铰接点、第三铰接点和第四铰接点，压电陶瓷设在壳体内，压电陶瓷的一端与钨钢片粘接，压电陶瓷的另一端与后盖粘接，后盖与壳体连接，第二铰接点与第三铰接点之间的边通过预紧顶丝上的球点与钨钢片接触，物镜侧适配器和显微镜侧适配器并列设置在壳体上，平行四边形机构带动壳体及物镜侧适配器运动。

本实用新型具有以下有益效果：当采用压电式驱动机构带动普通光学镜头进行Z向的1纳米精确进给，同时精度可控制在纳米量级，通过此进给调节可以精确地接近被检测物体，实现更高精度的观察或操作。

附图说明

图1是本实用新型整体结构主剖视图，图2是运动机构示意图。

具体实施方式

具体实施方式一：结合图1和图2说明本实施方式，本实施方式的装置包括壳体1、平行四边形机构2、压电陶瓷3、后盖4、预紧顶丝5、钨钢片6、物镜侧适配器7和显微镜侧适配器8，平行四边形机构2是由壳体线切割而成的具有四个柔性铰接点的平行四边形机构，平行四边形机构2的四个铰接点分别定义为第一铰接点2-1、第二铰接点2-2、第三铰接点2-3和第四铰接点2-4，压电陶瓷3设在壳体1内，压电陶瓷3的一端与钨钢片6粘接，压电陶瓷3的另一端与后盖4粘接，后盖4与壳体1连接，第二铰接点2-2与第三铰接点2-3之间的边通过预紧顶丝5上的球点与钨钢片6接触，物镜侧适配器7和显微镜侧适配器8并列设置在壳体1上，平行四边形机构2带动壳体1及物镜侧适配器7运动。

具体实施方式二：结合图1说明本实施方式，本实施方式的装置还包括多个锁紧螺丝9，物镜侧适配器7和显微镜侧适配器8均通过锁紧螺丝9固定。其它实施方式与具体实施方式一相同。

工作原理：压电陶瓷3在给定电压下进行膨胀移动，同时顶住预紧顶丝5带动平行四边形机构2向外膨胀运动，整个平行四边形机构2带动物镜侧适配器8进行运动。