[实用新型]扩散硅压力传感器测试夹具

摘要

本实用新型提供了一种扩散硅压力传感器测试夹具，包括夹具底座、夹具上模和针板，夹具底座上设有压力气体进口和与该压力气体进口相通压力接口；夹具上模上设有数量与压力接口数量相同的第一安装孔、第二安装孔和绝缘材料制成的加工有多个引脚孔的传感器座，相对应的第一安装孔与第二安装孔相通；传感器座的一端伸入第二安装孔内，针板采用绝缘材料制成其上设有数量与引脚孔数量相同的探针导向孔。本测试夹具主要用于OEM传感器的生产，采用探针代替软线进行信号连接，从而减少了连接线；在一次加压情况下测试多路传感器的输出信号，可同时测试64只压力传感器，明显提高了装夹效率，解决了大批量生产的问题。

主权项

一种扩散硅压力传感器测试夹具，其特征在于，包括夹具底座、夹具上模和针板（5），所述的夹具底座包括底板（1）和下模载板（2），底板（1）上设有压力气体进口和具有多个节点（14）的网状结构，该网状结构与该压力气体进口相通；下模载板（2）上加工有数量与节点（14）数量相同的压力接口（17），压力接口（17）与节点（14）一一对应，压力接口（17）为台阶孔；压力接口（17）与节点（14）相通，压力接口（17）中直径较大的孔背离底板（1）；所述的夹具上模包括上模压板（3）和上模隔板（4），上模压板（3）的一个端面上设有数量与压力接口（17）数量相同的第一安装孔（24），并形成一一对应，上模压板（3）的另一个端面上设有数量与第一安装孔（24）数量相同的第二安装孔（34），第二安装孔（34）与第一安装孔（24）一一对应，相对应的第一安装孔（24）与第二安装孔（34）通过第三连接孔（35）相通；第一安装孔（24）的直径和第二安装孔（34）的直径均大于第三连接孔（35）的直径；所述的上模隔板（4）包括绝缘材料制成的上模隔板本体（26），上模隔板本体（26）上加工有数量与第一安装孔（24）数量相同的安装座孔，并形成一一对应；每个安装座孔内均安装有一个绝缘材料制成的传感器座（28），传感器座（28）的一端位于安装座孔内，传感器座（28）的另一端伸入第二安装孔（34）内，传感器座（28）上加工有多个引脚孔（30）；所述的针板（5）包括绝缘材料制成的针板本体（32），针板本体（32）上设有数量与引脚孔（30）数量相同的探针导向孔，并一一对应。