[实用新型]扩散硅压力传感器测试夹具

权利要求书

1.一种扩散硅压力传感器测试夹具，其特征在于，包括夹具底座、夹具上模和针板（5），

所述的夹具底座包括底板（1）和下模载板（2），底板（1）上设有压力气体进口和具有多个节点（14）的网状结构，该网状结构与该压力气体进口相通；下模载板（2）上加工有数量与节点（14）数量相同的压力接口（17），压力接口（17）与节点（14）一一对应，压力接口（17）为台阶孔；压力接口（17）与节点（14）相通，压力接口（17）中直径较大的孔背离底板（1）；

所述的夹具上模包括上模压板（3）和上模隔板（4），上模压板（3）的一个端面上设有数量与压力接口（17）数量相同的第一安装孔（24），并形成一一对应，上模压板（3）的另一个端面上设有数量与第一安装孔（24）数量相同的第二安装孔（34），第二安装孔（34）与第一安装孔（24）一一对应，相对应的第一安装孔（24）与第二安装孔（34）通过第三连接孔（35）相通；第一安装孔（24）的直径和第二安装孔（34）的直径均大于第三连接孔（35）的直径；

所述的上模隔板（4）包括绝缘材料制成的上模隔板本体（26），上模隔板本体（26）上加工有数量与第一安装孔（24）数量相同的安装座孔，并形成一一对应；每个安装座孔内均安装有一个绝缘材料制成的传感器座（28），传感器座（28）的一端位于安装座孔内，传感器座（28）的另一端伸入第二安装孔（34）内，传感器座（28）上加工有多个引脚孔（30）；

所述的针板（5）包括绝缘材料制成的针板本体（32），针板本体（32）上设有数量与引脚孔（30）数量相同的探针导向孔，并一一对应。

2. 如权利要求1所述的扩散硅压力传感器测试夹具，其特征在于，所述压力接口（17）直径较大孔的底面设有O型密封圈。

3.如权利要求1所述的扩散硅压力传感器测试夹具，其特征在于，所述第一安装孔（24）的旁边设有一个轴线与该第一安装孔（24）轴线相平行的沉孔（23），该沉孔（23）和该第一安装孔（24）之间的中心距小于该沉孔（23）半径和该第一安装孔（24）半径之和；沉孔（23）安装有防滑套（36）。

4.如权利要求1所述的扩散硅压力传感器测试夹具，其特征在于，所述的传感器座（28）包括绝缘材料制成的凸台形的传感器座本体（29），传感器座本体（29）上加工有多个互不相通的引脚孔（30），每个引脚孔（30）的一端均位于传感器座本体（29）直径较小凸台的端面上，每个引脚孔（30）的另一端均位于连接有一个探针孔（31），探针孔（31）与引脚孔（30）同轴设置；所有探针孔（31）的另一端均位于传感器座本体（29）直径较大台座的端面，所有的探针孔（31）互不相通；传感器座本体（29）直径较大的台座安装于上模隔板本体（26）上的安装座孔内，传感器座本体（29）直径较小的凸台伸入第二安装孔（34）内。