[实用新型]太阳能硅片制造工艺用传输载板

摘要

本实用新型涉及太阳能硅片制造工艺用的等离子设备技术领域，尤其是一种太阳能硅片制造工艺用传输载板，包括输送载板和硅片，硅片阵列排放在输送载板上，所述的输送载板外周设有一圈输送导向结构，输送载板表面设置有硅片放置槽阵列，所述的硅片放置槽阵列由横向筋和纵向筋分隔而成，横向筋或纵向筋上开有抽气夹缝，每个硅片放置槽内均设有4个气压平衡孔，所述的输送载板之间采用互补式连接，前一块输送载板的下凸台与后一块输送载板的上凸台叠合。本实用新型通过夹缝，使气体可以从硅片周围抽出，不需要从载板边缘抽出，这样使得抽气在每一块硅片之间是均匀的，另外互补式连接保证了载板能够均衡、平稳地运行。

主权项

一种太阳能硅片制造工艺用传输载板，包括输送载板（1）和硅片（2），硅片（2）阵列排放在输送载板（1）上，其特征是，所述的输送载板（1）外周设有一圈输送导向结构（7），输送载板（1）表面设置有硅片放置槽阵列（3），所述的硅片放置槽阵列（3）由横向筋（9）和纵向筋（10）分隔而成，横向筋（9）或纵向筋（10）上开有抽气夹缝（5），每个硅片放置槽（4）内均设有4个气压平衡孔（6）；所述的输送载板（1）之间采用互补式连接。