[实用新型]低压干燥预烘装置有效
| 申请号： | 201220088615.0 | 申请日： | 2012-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN202453649U | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 黄寅虎;白明基;杨成绍 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜;王莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及显示装置光刻制造工艺技术领域，特别是涉及一种低压干燥预烘装置，包括，上腔室，对应的设置于上腔室下方的下腔室，下腔室上设置有基台，上腔室固定在外固定装置上，上腔室面向下腔室的壁面上均匀设置有若干个真空管，下腔室的下方设置有升降梯。本装置通过均匀分布的真空管对面板进行PR胶溶剂的均匀抽取，能够避免由于溶剂含量的不均导致的差异效应，能够改善显影关键尺寸，提高显示品质；同时由于在下腔室上设置了带有温度传感器和加热控制器的热盘，实现了对面板的均匀预烘，避免了波纹现象的出现；由于真空管设置在固定的上腔室上，避免了来回的升降运动造成的真空管装置磨损。 | ||
| 搜索关键词： | 低压 干燥 装置 | ||
【主权项】：
一种低压干燥预烘装置，包括，上腔室，对应的设置于所述上腔室下方的下腔室，所述下腔室上设置有基台，其特征在于，所述上腔室固定在外固定装置上，所述上腔室面向下腔室的壁面上均匀设置有若干个真空管，所述下腔室的下方设置有升降梯。
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