[实用新型]低压干燥预烘装置有效
| 申请号： | 201220088615.0 | 申请日： | 2012-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN202453649U | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 黄寅虎;白明基;杨成绍 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜;王莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 低压 干燥 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种低压干燥预烘装置，包括，上腔室，对应的设置于所述上腔室下方的下腔室，所述下腔室上设置有基台，其特征在于，所述上腔室固定在外固定装置上，所述上腔室面向下腔室的壁面上均匀设置有若干个真空管，所述下腔室的下方设置有升降梯。
2.如权利要求1所述的低压干燥预烘装置，其特征在于，所述基台上均匀设置有若干个热盘。
3.如权利要求2所述的低压干燥预烘装置，其特征在于，所述热盘包括加热件。
4.如权利要求3中所述的低压干燥预烘装置，其特征在于，所述热盘还包括温度传感器和加热控制器。
5.如权利要求3中所述的低压干燥预烘装置，其特征在于，所述加热件包括电阻丝。
6.如权利要求1所述的低压干燥预烘装置，其特征在于，所述上腔室通过固定件固定在外固定装置上。
7.如权利要求1所述的低压干燥预烘装置，其特征在于，所述升降梯的底端通过固定件固定在外固定装置上。
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