[实用新型]高性能复合分子泵有效
| 申请号： | 201220081560.0 | 申请日： | 2012-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN202531443U | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 郁晋军;董欣;于天化 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/38;F04D29/54;F04D29/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高性能复合分子泵，包括泵壳、转子体、底盘、油池座等，转子体与电机主轴固定连接，该分子泵自进气口至排气口由涡轮叶片级与筒式牵引级串联而成；涡轮叶片级包括设于转子体上的涡轮动叶片和设于隔离环上的涡轮静叶片；筒式牵引级包括设于转子体与牵引级定子之间的螺旋导流槽；隔离环和牵引级定子固定于所述泵壳上。可以同时兼备大抽速和高压缩比，并具有较强的前级抗压能力，可获得高真空与超高真空。 | ||
| 搜索关键词： | 性能 复合 分子 | ||
【主权项】：
一种高性能复合分子泵，包括泵壳、转子体，所述转子体与电机主轴固定连接，其特征在于，该分子泵自进气口至排气口由涡轮叶片级与筒式牵引级串联而成；所述涡轮叶片级包括设于所述转子体上的涡轮动叶片和设于隔离环上的涡轮静叶片；所述筒式牵引级包括设于所述转子体与牵引级定子之间的螺旋导流槽；所述隔离环和所述牵引级定子固定于所述泵壳上。
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