[实用新型]高性能复合分子泵有效
| 申请号： | 201220081560.0 | 申请日： | 2012-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN202531443U | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 郁晋军;董欣;于天化 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/38;F04D29/54;F04D29/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 性能 复合 分子 | ||
1.一种高性能复合分子泵，包括泵壳、转子体，所述转子体与电机主轴固定连接，其特征在于，该分子泵自进气口至排气口由涡轮叶片级与筒式牵引级串联而成；
所述涡轮叶片级包括设于所述转子体上的涡轮动叶片和设于隔离环上的涡轮静叶片；
所述筒式牵引级包括设于所述转子体与牵引级定子之间的螺旋导流槽；
所述隔离环和所述牵引级定子固定于所述泵壳上。
2.根据权利要求1所述的高性能复合分子泵，其特征在于，所述涡轮动叶片为一级或多级，所述涡轮动叶片与涡轮静叶片沿轴向交替排列。
3.根据权利要求1所述的高性能复合分子泵，其特征在于，所述螺旋导流槽设于所述转子体上或设于所述牵引级定子上。
4.根据权利要求3所述的高性能复合分子泵，其特征在于，所述螺旋导流槽有一条或多条；
所述螺旋导流槽的深度为等深或自进气端至排气端逐渐变浅；
所述螺旋导流槽的宽度为等宽或自进气端至排气端逐渐变窄。
5.根据权利要求1至4任一项所述的高性能复合分子泵，其特征在于，所述涡轮叶片级和筒式牵引级的转子体为分体结构或整体结构，分体结构的转子体通过螺钉和销钉连接固定。
6.根据权利要求5所述的高性能复合分子泵，其特征在于，所述电机主轴安装于底盘上，所述底盘固定在所述泵壳上，所述底盘与所述泵壳之间设有排气口法兰。
7.根据权利要求6所述的高性能复合分子泵，其特征在于，所述底盘的下部固定有油池座。
8.根据权利要求7所述的高性能复合分子泵，其特征在于，所述进气口设有过滤网。
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