[实用新型]高性能复合分子泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空获得设备，尤其涉及一种高性能复合分子泵。 

背景技术

随着科技的发展，特别是半导体行业的发展，要求分子泵具有大抽速、高压缩比和较强的前级抗压能力。 

现有技术中的分子泵主要有两种类型：一种为涡轮分子泵，一种为盘型涡轮复合分子泵。 

涡轮分子泵(专利号：85101627)具有较大的抽速，但是只能在气体为分子流状态下工作，在气体压强高于1Pa时，抽速非常低，而一些半导体工业在该压强范围要求大的抽气量，涡轮分子泵难以适合。 

盘型涡轮复合分子泵主要由涡轮叶片级与盘式牵引级组成(专利号：CN87103994)。该种泵集合了涡轮泵与盘式牵引泵的优点，较涡轮分子泵在抽速和压缩比上有所改观。但该种类泵存在以下缺点：(1)气体在涡轮级叶片之间流动为轴向流动，到盘式牵引级变为径向流动，增加了流阻，造成大量气体反流；(2)盘型牵引级抽气效率较低，与涡轮级叶片匹配性较差，易造成气体反流；(3)多级牵引级定片与动片交替组合，由于盘型制造误差及装配误差造成气体流导不均匀性，影响抽气性能。 

总之，现有技术中的分子泵可以单独获得较大的抽速或获得较大压缩比，但是难以同时兼备大抽速和高压缩比。 

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具有大抽速、高压缩比和较强的前级抗压能力的高性能复合分子泵。 

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的： 

本实用新型的高性能复合分子泵，包括泵壳、转子体，所述转子体与电机主轴固定连接，该分子泵自进气口至排气口由涡轮叶片级与筒式牵引级串联而成； 

所述涡轮叶片级包括设于所述转子体上的涡轮动叶片和设于隔离环上的涡轮静叶 片； 

所述筒式牵引级包括设于所述转子体与牵引级定子之间的螺旋导流槽； 

所述隔离环和所述牵引级定子固定于所述泵壳上。 

由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，本实用新型提供的高性能复合分子泵，由于该分子泵自进气口至排气口由涡轮叶片级与筒式牵引级串联而成，可以同时兼备大抽速和高压缩比，并具有较强的前级抗压能力，可获得高真空与超高真空。 

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的高性能复合分子泵示意图； 

图2为本实用新型的实施例一的转子体主视结构示意图； 

图3a为本实用新型的实施例一的筒式牵引级部分的主视外形结构示意图； 

图3b为本实用新型的实施例一的筒式牵引级部分的导流槽深度的截面结构示意图； 

图3c为本实用新型的实施例一的筒式牵引级部分的展开示意图； 

图4a为本实用新型的实施例二的筒式牵引级部分截面结构示意图； 

图4b为本实用新型的实施例二的牵引级定子的结构示意图。 

图中：1、过滤网，2、泵壳，3、转子体，4、涡轮静叶片，5、隔离环，6、电机主轴，7、轴承座压盖，8、上轴承，9、轴承座，10、牵引级定子，11、底盘，12、电机，13、下轴承，14、排气口法兰，15、油池座。 

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型实施例作进一步地详细描述。 

本实用新型的高性能复合分子泵，其较佳的具体实施方式是： 

包括泵壳、转子体，所述转子体与电机主轴固定连接，该分子泵自进气口至排气口由涡轮叶片级与筒式牵引级串联而成； 

所述涡轮叶片级包括设于所述转子体上的涡轮动叶片和设于隔离环上的涡轮静叶片； 

所述筒式牵引级包括设于所述转子体与牵引级定子之间的螺旋导流槽； 

所述隔离环和所述牵引级定子固定于所述泵壳上。 

所述涡轮动叶片为一级或多级，所述涡轮动叶片与涡轮静叶片沿轴向交替排列。 

所述螺旋导流槽设于所述转子体上或设于所述牵引级定子上。 

所述螺旋导流槽有一条或多条； 

所述螺旋导流槽的深度为等深或自进气端至排气端逐渐变浅； 

所述螺旋导流槽的宽度为等宽或自进气端至排气端逐渐变窄。 

所述涡轮叶片级和筒式牵引级的转子体为分体结构或整体结构，分体结构的转子体通过螺钉和销钉连接固定。 

所述电机主轴安装于底盘上，所述底盘固定在所述泵壳上，所述底盘与所述泵壳之间设有排气口法兰。 

所述底盘的下部固定有油池座。 

所述进气口设有过滤网。