[实用新型]容积可控式真空离子热处理装置

摘要

本实用新型涉及一种容积可控式真空离子热处理装置，适用于等离子体对金属材料表面进行离子热处理的装置，属于离子热处理设备技术领域，主要特点是阴极盘上叠装至少一层分装炉体，最上层的分装炉体上叠装炉罩，阴极盘与相邻的分装炉体、各分装炉体之间、最上层分装炉体与炉罩之间均设置密封圈。本实用新型在对零件进行热处理时，可以根据零件的尺寸、数量来选择分装炉体的个数，容积的大小可由分装炉体的个数来调整，从而实现热处理装置的容积在一定范围内是可控制的。本实用新型结构合理，有效解决了细长类零件加工难的问题，并且该装置对水、电、气的利用更加充分、合理，提高了工作效率，节约了能源。

主权项

一种容积可控式真空离子热处理装置，包括炉罩，控制系统，控制系统控制的真空系统、供气系统、温控系统和电源，阴极盘和阴极盘上的工作台，其特征是，所述的阴极盘上叠装至少一层分装炉体，最上层的分装炉体上叠装炉罩，阴极盘与相邻的分装炉体、各分装炉体之间、最上层分装炉体与炉罩之间均设置密封圈。