[实用新型]容积可控式真空离子热处理装置

权利要求书

1.一种容积可控式真空离子热处理装置，包括炉罩，控制系统，控制系统控制的真空系统、供气系统、温控系统和电源，阴极盘和阴极盘上的工作台，其特征是，所述的阴极盘上叠装至少一层分装炉体，最上层的分装炉体上叠装炉罩，阴极盘与相邻的分装炉体、各分装炉体之间、最上层分装炉体与炉罩之间均设置密封圈。

2.根据权利要求1所述的容积可控式真空离子热处理装置，其特征是，分装炉体似呈筒状，分装炉体的炉体部分为夹层结构，其夹层为水冷层，水冷层设置进水和出水接口，水冷层的外侧面上对称固定把手，分装炉体端面上设置密封槽。

3.根据权利要求1所述的容积可控式真空离子热处理装置，其特征是，分装炉体高度为100～2000mm。

4.根据权利要求1所述的容积可控式真空离子热处理装置，其特征是，炉罩的外侧面上对称固定把手。