[实用新型]等离子体增强化学气相淀积系统的太阳电池衬底上下料装置

摘要

本实用新型提供一种等离子体增强化学气相淀积系统的太阳电池衬底上下料装置，属于太阳能电池制备技术领域。该太阳电池衬底上下料装置包括一对同步地传动的第一直线行程电动执行器和一对同步地传动的第二直线行程电动执行器。该太阳电池衬底上下料装置具有结构简单、同步性好、可靠性高、容易实现走位校准的特点。

主权项

一种等离子体增强化学气相淀积系统的太阳电池衬底上下料装置，包括垂直框体、平行地固定于所述垂直框体上的一对水平支架，其特征在于，还包括：一对第一直线行程电动执行器，其分别相应地固定于所述一对水平支架上；一对第二直线行程电动执行器，其分别相应地设置于所述一对第一直线行程电动执行器上并相对所述第一直线行程电动执行器可直线运动；以及太阳电池衬底容纳装置，其两端分别挂置于两个所述第二直线行程电动执行器上；其中，一对所述第一直线行程电动执行器之间同步地传动，一对所述第二直线行程电动执行器之间同步地传动。