[实用新型]等离子体增强化学气相淀积系统的太阳电池衬底上下料装置

权利要求书

1.一种等离子体增强化学气相淀积系统的太阳电池衬底上下料装置，包括垂直框体、平行地固定于所述垂直框体上的一对水平支架，其特征在于，还包括：

一对第一直线行程电动执行器，其分别相应地固定于所述一对水平支架上；

一对第二直线行程电动执行器，其分别相应地设置于所述一对第一直线行程电动执行器上并相对所述第一直线行程电动执行器可直线运动；以及

太阳电池衬底容纳装置，其两端分别挂置于两个所述第二直线行程电动执行器上；

其中，一对所述第一直线行程电动执行器之间同步地传动，一对所述第二直线行程电动执行器之间同步地传动。

2.如权利要求1所述的太阳电池衬底上下料装置，其特征在于，一对所述第一直线行程电动执行器之间固定设置第一横梁。

3.如权利要求1或2所述的太阳电池衬底上下料装置，其特征在于，一对所述第二直线行程电动执行器之间固定设置第二横梁。

4.如权利要求1所述的太阳电池衬底上下料装置，其特征在于，每个第一直线行程电动执行器相应连接一个第一控制器，每个第二直线行程电动执行器相应连接一个第二控制器；

其中，第一控制器用于控制一对所述第一直线行程电动执行器之间同步地传动；

第二控制器用于控制一对所述第二直线行程电动执行器之间同步地传动。

5.如权利要求4所述的太阳电池衬底上下料装置，其特征在于，第一控制器与所述第一直线行程电动执行器之间通过控制线缆连接，第二控制器与所述第二直线行程电动执行器之间通过控制线缆连接。

6.如权利要求1所述的太阳电池衬底上下料装置，其特征在于，所述第一直线行程电动执行器和/或所述第二直线行程电动执行器为滚珠丝杆式。

7.如权利要求1所述的太阳电池衬底上下料装置，其特征在于，所述第二直线行程电动执行器设置于所述第一直线行程电动执行器的 滑块上。

8.如权利要求1所述的太阳电池衬底上下料装置，其特征在于，所述太阳电池衬底容纳装置的两端分别通过挂钩相应挂置于一对所述第二直线行程电动执行器的滑块上。

9.如权利要求1或2或4或5或6或7或8所述的太阳电池衬底上下料装置，其特征在于，所述太阳电池衬底容纳装置为石墨舟。

10.如权利要求1所述的太阳电池衬底上下料装置，其特征在于，所述第一直线行程电动执行器与所述第二直线行程电动执行器相同。

11.如权利要求1或2或4或5或6或7或8或10所述的太阳电池衬底上下料装置，其特征在于，所述等离子体增强化学气相淀积系统为管式等离子体增强化学气相淀积系统。