[实用新型]等离子体增强化学气相淀积系统的太阳电池衬底上下料装置

说明书

技术领域

本实用新型属于太阳能电池制备技术领域，涉及等离子体增强化学气相淀积(PECVD)系统的太阳电池衬底上下料装置，尤其涉及驱动装置采用两组直线行程电动执行器的太阳电池衬底上下料装置。 

背景技术

随着太阳能技术的快速发展和推广，将太阳能转换为电能的太阳电池被大规模地制备。通常地，太阳电池是基于太阳电池衬底经过多道半导体工艺后制备形成，因此，其中必不可少地包括PECVD步骤，例如，利用PECVD系统在太阳电池衬底上沉积减反射薄膜。 

在大规模地PECVD制备时，必然地要求对PECVD系统实现自动上下料以提高生产效率。通常地，多片用于制备太阳电池的太阳电池衬底置于太阳电池衬底容纳装置(例如，石墨舟)中，通过太阳电池衬底上下料装置实现PECVD生产的上下料过程。 

图1所示为现有技术的太阳电池衬底上下料装置的结构示意图。如图1所示，太阳电池衬底上下料装置10用于对石墨舟900实现上下料。具体地，太阳电池衬底上下料装置10包括垂直框体110，在垂直框体110上水平固定设置一对水平支架121a和121b，水平支架121a和121b相互平行地设置，水平支架121a和121b上均设置有第一直线导轨141，一对第二直线导轨143a和143b分别通过第一滑块(图中未示出)连接于第一直线导轨141上，第二直线导轨143a和143b上也分别设置有第二滑块173a和173b，装有太阳电池衬底的石墨舟800的两端分别通过挂钩800a和800b挂置于第二滑块173a和173b上；一对第一直线导轨141的末端之间设置有第一同步连接杆161，第二直线导轨143a和143b的末端之间也设置有第二同步连接杆163。 

该太阳电池衬底上下料装置10的驱动装置通过伺服电机实现，继续如图1所示，第一伺服电机131可以通过同步带(图中未示出)驱动第一滑块在第一直线导轨141上运动，同时，同步带通过第一连轴 器151带动第一同步连接杆161、进而带动水平支架121b上的同步带(图中未示出)以使水平支架121b端的第一滑块同步地水平运动，从而可以使第一滑块之间同步地水平运动或使第二直线导轨143a和143b两者同步地水平运动。第二伺服电机133同样地可以通过同步带(图中未示出)驱动第二滑块173a在第二直线导轨143a上运动，同时同步带通过第二连轴器153带动第二同步连接杆163、进而带动水平支架121b端的同步带以使第二滑块173b与第二滑块173a同步地水平运动。因此，第一滑块可以相对第一直线导轨141同步地水平运动，第二直线导轨143a和143b两者也可以相对于第一直线导轨141同步地水平运动，第二滑块173a和173b两者可以同步地相对于第二直线导轨水平运动(x方向)，进而水平挂置的石墨舟900也可以在x方向水平地大范围运动，方便地自动化实现石墨舟900的上下料过程。 

但是，图1所示的太阳电池衬底上下料装置10中，在实际应用中具有以下缺点。 

第一，应用伺服电机(131和133)、同步带轮(图中未示出)、同步带(图中未示出)组合驱动，并且还安装有连轴器(151和153)、同步连接杆(161和163)以达到左右两边结构的同步水平运动，零部件多且整体结构复杂，成本高。 

第二，采用以上所述的传动系统时，通过同步连接杆等实现同步水平运动，在上下料过程中同步性较差。 

第三，伺服电机的电气控制线(图中未示出)通常较多，布线困难的同时容易在上下料过程中存在安全隐患。 

第四，伺服电机无零点位，在多次执行上下料后难以找到调试基准，走位校准困难。 

实用新型内容

本实用新型的目的之一在于，提高太阳电池衬底上下料装置的同步性。 

本实用新型的又一目的在于，简化太阳电池衬底上下料装置的结构。 

本实用新型的还一目的在于，易于实现太阳电池衬底上下料装置的走位校准。 

本实用新型的再一目的在于，提高太阳电池衬底上下料装置的可 靠性。 

为实现以上目的或者其他目的，本实用新型提供一种PECVD系统的太阳电池衬底上下料装置，包括垂直框体、平行地固定于所述垂直框体上的一对水平支架；还包括： 

一对第一直线行程电动执行器，其分别相应地固定于所述一对水平支架上； 

一对第二直线行程电动执行器，其分别相应地设置于所述一对第一直线行程电动执行器上并相对所述第一直线行程电动执行器可直线运动；以及