[实用新型]一种热场装置有效
| 申请号： | 201220021343.2 | 申请日： | 2012-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN202530197U | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 钱兵 | 申请（专利权）人： | 徐州协鑫光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;赵爱军 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种热场装置，所述热场装置包括：坩埚、设置于所述坩埚下方的坩埚托盘、设置于所述坩埚托盘下方的支撑柱以及设置于所述支撑柱下方的支撑柱底座，其中，所述坩埚与所述坩埚托盘之间、所述坩埚托盘与所述支撑柱之间和/或所述支撑柱与所述支撑柱底座之间设置有用于防粘连的涂层。本实用新型能够有效防止热场装置中的各部件在高温状态下的粘连现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
一种热场装置，其特征在于，包括：坩埚、设置于所述坩埚下方的坩埚托盘、设置于所述坩埚托盘下方的支撑柱以及设置于所述支撑柱下方的支撑柱底座，其中，所述坩埚与所述坩埚托盘之间、所述坩埚托盘与所述支撑柱之间和/或所述支撑柱与所述支撑柱底座之间设置有用于防粘连的涂层。
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