[实用新型]一种热场装置有效
| 申请号： | 201220021343.2 | 申请日： | 2012-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN202530197U | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 钱兵 | 申请（专利权）人： | 徐州协鑫光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;赵爱军 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种热场装置，其特征在于，包括：
坩埚、设置于所述坩埚下方的坩埚托盘、设置于所述坩埚托盘下方的支撑柱以及设置于所述支撑柱下方的支撑柱底座，其中，所述坩埚与所述坩埚托盘之间、所述坩埚托盘与所述支撑柱之间和/或所述支撑柱与所述支撑柱底座之间设置有用于防粘连的涂层。
2.如权利要求1所述的热场装置，其特征在于，所述涂层设置于所述坩埚的与所述坩埚托盘接触的下表面上和/或所述坩埚托盘的与所述坩埚接触的上表面上。
3.如权利要求1所述的热场装置，其特征在于，所述涂层设置于所述坩埚托盘的与所述支撑柱接触的下表面上和/或所述支撑柱的与所述坩埚托盘接触的上表面上。
4.如权利要求1所述的热场装置，其特征在于，所述涂层设置于所述支撑柱的与所述支撑柱底座接触的下表面上和/或所述支撑柱底座的与所述支撑柱接触的上表面上。
5.如权利要求1所述的热场装置，其特征在于，所述支撑柱的侧表面上设置有所述涂层。
6.如权利要求1所述的热场装置，其特征在于，所述涂层的原料为氧化锆或氧化钇。
7.如权利要求1至6任一项所述的热场装置，其特征在于，所述涂层是通过等离子喷涂方式形成的。
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