[实用新型]真空晶粒自动回集系统

摘要

本实用新型公开了一种真空晶粒自动回集系统，涉及LED制造的装置，特别是涉及后制程的手选装置，用于防止过滤网破损后可能发生的芯片进入真空泵造成破坏的问题。该技术方案为：在干路管与上升管的连接处还设有一出口朝下的出芯管；上升管上设有第一电控阀；在出芯管上均设有第二电控阀；在出芯管的出口处设有容器；系统的电路部分包括控制器，其与第一电控阀、第二电控阀和光传感器连接，用于处理光传感器收集来的信号，并根据信号处理结果来控制第一电控阀和第二电控阀的开关；以及光传感器，其用于检测堆积在第二阀上的芯片的程度信息；光传感器安装在出芯管内，且在第二电控阀的上方位置。本实用新型可以用于LED以及其它集成芯片领域。

主权项

一种真空晶粒自动回集系统，包括干路管和与干路管连接的上升管，其特征在于：所述干路管与所述上升管的连接处还设有一个出芯管，出芯管的出口朝下；所述上升管上设有第一电控阀；在所述出芯管上均设有第二电控阀；在出芯管的出口处设有用于接收晶片的容器；所述系统还包括控制器，与所述第一电控阀、第二电控阀和光传感器连接，用于处理光传感器收集来的信号，并根据信号处理结果来控制第一电控阀和第二电控阀的开关；光传感器，连接控制器，用于检测堆积在第二阀上的芯片的程度信息；光传感器安装在所述出芯管内，且在第二电控阀的上方位置。