[实用新型]真空晶粒自动回集系统

权利要求书

1.一种真空晶粒自动回集系统，包括干路管和与干路管连接的上升管，其特征在于：所述干路管与所述上升管的连接处还设有一个出芯管，出芯管的出口朝下；

所述上升管上设有第一电控阀；

在所述出芯管上均设有第二电控阀；

在出芯管的出口处设有用于接收晶片的容器；

所述系统还包括

控制器，与所述第一电控阀、第二电控阀和光传感器连接，用于处理光传感器收集来的信号，并根据信号处理结果来控制第一电控阀和第二电控阀的开关；

光传感器，连接控制器，用于检测堆积在第二阀上的芯片的程度信息；光传感器安装在所述出芯管内，且在第二电控阀的上方位置。

2.根据权利要求1所述的真空晶粒自动回集系统，其特征在于：在所述出芯管上安装有第一光传感器和第二光传感器，它们均与控制器连接，并分别设在出芯管不同高度的位置。

3.根据权利要求1所述的真空晶粒自动回集系统，其特征在于：在光传感器顶部上设有弧面罩体。

4.根据权利要求1所述的真空晶粒自动回集系统，其特征在于：在干路管上连接有支路操作器，该支路操作器包括真空吸笔和芯片收集器；

真空吸笔通过软管与芯片收集器连接，芯片收集器通过软管与干路管连接。

5.根据权利要求4所述的真空晶粒自动回集系统，其特征在于：所述真空吸笔包括空心针头和连接在针头后部的中空管，中空管通过软管与芯片收集器连接。

6.根据权利要求4所述的真空晶粒自动回集系统，其特征在于：所述芯片收集器包括筒体、固定在筒体内部的过滤网，过滤网隔断筒体内部空间形成过滤结构。

7. 根据权利要求6所述的真空晶粒自动回集系统，其特征在于：所述过滤网通过位于其前后的两个卡环固定在所述筒体的内壁上。

8.根据权利要求5所述的真空晶粒自动回集系统，其特征在于：所述针头的前端为倾斜的孔口。

9.根据权利要求1至8任一项所述的真空晶粒自动回集系统，其特征在于：所述上升管、干路管和出芯管通过一个三通管连接。

10.根据权利要求9所述的真空晶粒自动回集系统，其特征在于：所述三通管直角T字管。