[发明专利]一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构有效
| 申请号: | 201210587581.4 | 申请日: | 2012-12-28 |
| 公开(公告)号: | CN103046136A | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
| 发明(设计)人: | 徐永亮;吴智洪;刘自强 | 申请(专利权)人: | 上海昀丰新能源科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00;C30B17/00 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏晓波 |
| 地址: | 201315 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构,采用双螺旋钨丝作为发热元,并通过支撑结构支撑固定。与现有技术中钨制网带提供的均匀热场结构相比,本发明实施例提供的大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构,采用双螺旋钨丝作为底部加热器的发热元使用,其优势是较小的长度能提供比较大的电阻值,同时具有相当的柔韧度,并能在较小的空间能进行弯曲,使其能够根据热场需要加工成适应的形状,产生比较理想的径向和轴向温度梯度,为大规格尺寸蓝宝石晶体生长创造有利的热场条件;另一方面,与钨制网带相比有相当大的价格优势,更重要的是加工制作容易。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 规格 尺寸 蓝宝石 底部 加热器 结构 | ||
【主权项】:
一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构,其特征在于,采用双螺旋钨丝(1)作为发热元,并通过支撑结构支撑固定。
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