[发明专利]一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构有效
| 申请号: | 201210587581.4 | 申请日: | 2012-12-28 |
| 公开(公告)号: | CN103046136A | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
| 发明(设计)人: | 徐永亮;吴智洪;刘自强 | 申请(专利权)人: | 上海昀丰新能源科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00;C30B17/00 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏晓波 |
| 地址: | 201315 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 规格 尺寸 蓝宝石 底部 加热器 结构 | ||
1.一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构,其特征在于,采用双螺旋钨丝(1)作为发热元,并通过支撑结构支撑固定。
2.根据权利要求1所述的大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构,其特征在于,所述双螺旋钨丝(1)构成多个同心的发热环。
3.根据权利要求2所述的大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构,其特征在于,所述双螺旋钨丝(1)的截径、中径、螺距、长度以及所述发热环的直径具体为通过热场分析软件CGSIM软件进行模拟分析计算确定。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构,其特征在于,所述双螺旋钨丝(1)和电极板(4)之间通过双螺旋连接螺丝(8)连接。
5.根据权利要求4所述的大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构,其特征在于,所述支撑结构具体为设置在所述双螺旋钨丝(1)底部的U型支撑钨棒(2),并通过细钨丝进行捆绑固定。
6.根据权利要求5所述的大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构,其特征在于,所述U型支撑钨棒(2)位于下保温钼屏(3)的部分套设有U型支撑钨棒绝缘套(7)。
7.根据权利要求6所述的大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构,其特征在于,所述U型支撑钨棒(2)的底部插入绝缘圈(5),固定在底部支撑固定板(6)上。
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