[发明专利]采用光加热的PVD设备

摘要

本发明涉及半导体生产设备领域，尤其涉及采用光加热的PVD设备。本发明提供采用光加热的PVD设备，通过设置与传输带配合的滚筒组，达到壳体与传输带之间动态的密封效果；同时，在所述下腔内设置移动靶舟，通过移动靶舟在所述下腔体的移动，实现对放置于所述传输带上的待镀膜材料进行镀膜处理。整个PVD设备完成了与传输带之间的动态密封和对放置于传输带上的待镀膜材料的镀膜处理，其结构上更趋于微型化，无论制造成本还是制造工期，都是相对于现有技术有明显的进步。

主权项

采用光加热的PVD设备，包括一壳体，其特征在于：所述壳体横向两侧分别设有供放置待镀膜材料的传输带通过的入口和出口，且所述传输带将所述壳体分隔成上腔与下腔，所述壳体内入口和出口处分别设有动态夹持所述传输带并带动其移动的滚筒组，各所述滚筒组包括贴设于传输带上侧的上滚筒和贴设于传输带下侧的下滚筒，所述壳体上还设有驱动所述滚筒组运转的第一伺服电机；所述下腔内设有用于放置靶材的移动靶舟及对所述移动靶舟提供热源的光热装置，所述移动靶舟上端具有一朝向所述传输带的喷气口，所述光热装置设于所述移动靶舟下端。